控制軸數(shù)

3軸

動作范圍

X、Y、軸

100mm

200mm

300mm

400mm

500mm

Z軸

60mm

PTP動作*大速度范圍

X、Y、軸

400mm/sec.

800mm/sec.

Z軸

100mm/sec.

直線動作*大速度范圍

X、Y、軸

400mm/sec.

Z軸

100mm/sec.

反復定位精度

X、Y、軸

±0.01mm(*1)

Z軸

±0.01mm(±0.02mm)(*1)

可搬重量

Y軸（工件桌側）

5kg(*2)

10kg(*2)

15kg(*2)

Z軸（噴頭側）

3kg(7kg)(*2)

控制方式

PTP及CP控制

補間功能

3軸直線補間，3維圓/圓弧補間

程序容量

1000步

程度數(shù)據(jù)保存方式

內部：FLASH PROM

外部：由程序編輯軟件MuCADⅢ向計算機媒介做備份

外部輸入、輸出點數(shù)（通用）

輸入

17點

輸出

26點

電源、消耗電力

AC100~240V    50/60Hz·150W

外形尺寸

W

238mm

300mm

400mm

500mm

620mm

D

390.4mm

530.4mm

630.4mm

710.4mm

810.4mm

H

562.7mm

567.7

重量

19kg(20kg)

21kg(22kg)

25kg(26kg)

29kg(30kg)

34kg(35kg0

使用環(huán)境的溫度，溫度

0~40℃·20~80%（不結露）

可選

各種工件桌，各種托架，控制盒，吸著BOX，針頭清潔用墊，吸引式噴嘴清潔器，**罩（拉門式，光軸式）