規(guī)格

泄漏量（Pa·m3 / s）	1×10 -8 以下
使用面積（Pa）	105 至10-5 _
所需氣壓（MPa·G）	0.4 至 0.6
生命周期	1× 106
機身材質	A5056
閥門盤根	氟橡膠O型圈
軸封	氟橡膠O型圈
接近開關	選項
耐熱工作溫度	150℃以下（60℃以下帶接近開關）

*本表所列以外的特殊規(guī)格（標準法蘭、直徑、耐壓等）也可生產(chǎn)。

*由于改進，本規(guī)格如有更改，恕不另行通知。