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產品名稱：TOKYOKEISO東京計裝超聲波流量計
產品型號：UCUF-15K
產品廠商：TOKYOKEISO東京計裝
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簡單介紹：

詳情介紹：

UCUF-K系列液體超聲波流量計是專為超純水和各種化學品的小流量測量而設計的流量計，由UCUF-K檢測器和SFC傳感器組成。 UCUF探測器的所有接液部件均由半導體行業(yè)的PFA組成，沒有容易積液的運動部件和O形圈等機械密封。由于其理想的清潔結構，該流量計非常適合需要高度清潔的過程，例如半導體設備。

長處

· EMC合規(guī)標準：EN61326-1：2013 / EN61326-2-3：2013
· 符合 RoHS 標準
· 測量運動粘度高達 40 mm2/s 的高粘度流體
· 精度在指示值的 ±1% 以內（流速為 1 m/s 或更高時）
· 寬范圍（典型值為 100：1）
· 理想的清潔結構檢測器
· 耐腐蝕，易于安裝

主要用途

· 半導體制造過程中純水和超純水的流量測量
· 各種化學品注入過程的流量測量
· 高腐蝕性液體的流量測量
· CMP 漿料流量測量
· 其他小~中徑過程液體流量測量
· 適用于清潔設備和CMP設備的流量測量和控制

主要規(guī)格

探測器規(guī)格

口徑	4毫米、6毫米、10毫米、15毫米、20毫米
測量對象	一般液體（沒有氣泡的液體，混合物必須均勻溶解）
流量范圍	小： 0 ~ 0.8 升/分鐘（04K），大： 18.8 ~ 80 升/分鐘（20K）
流體聲速	1000 ~ 2200 米/秒
流體運動粘度	0.3 ~ 40毫米2/秒
流體溫度	+10 ~ +60°C
流體壓力	0 ~ 0.5兆帕（G）
接液部件材料	新的PFA
過程連接	PFA 管端