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- NIKKATO日陶研磨球
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產品詳情
簡單介紹：
北崎熱銷SATOVAC 佐藤真空
詳情介紹：
這是一種管式高溫熱CVD裝置，適用于大學和研究機構開發(fā)石墨烯等烴類化合物的各種材料。 它已經小型化，因此可以通過簡單的操作制造小批量和小型試件，同時實現(xiàn)了顯著的成本降低。
此外，它還配備了5~100Pa的壓力控制功能，這是小尺寸難以實現(xiàn)的，因此可以支持更廣泛的加工模式。 對于Sarako碳氫化合物系統(tǒng)的易燃氣體，我們配備了**裝置，例如通過警報檢測和大氣排放氣體稀釋裝置關閉設備。
主要規(guī)格
| 爐芯管 | 透明石英管（加熱溫度100~1000°C） |
|---|---|
| 氧化鋁管（加熱溫度1000~1400°C） | |
| 反應氣體供應 | 2~60sccm（氫氣、甲烷、乙烷、工業(yè)苯乙烯、乙炔、苯等） |
| 壓力控制 | 5~100Pa |
| 防止易燃氣體排放到大氣中的措施 | 通過噴射器用低于易燃混合范圍的空氣稀釋的廢氣 |
設備配置
| 型 | SFCV-1001 | SFCV-1003 | SFCV-1501 | ||
|---|---|---|---|---|---|
| 管式爐 | 爐芯管 | 材料 | 透明石英管 | 氧化鋁管 | |
| 鉆 | φ24毫米、φ50毫米 | φ24毫米 | |||
| 加熱溫度 | 習慣性使用 | 100~1000°C | 500~1400°C | ||
| 麥克斯 | 1150°C | 1500°C | |||
| 加熱面積 | 1 個區(qū)域 | 3 個區(qū)域 | 1 個區(qū)域 | ||
| 加熱器容量 | 1.0千瓦 | 2.4千瓦 | 1.2千瓦 | ||
| 真空抽真空 | 油旋轉真空泵 | 抽速：100~150升/分 | |||
| 供氣 | 質量流量控制器 | 流量：10~100sccm | |||
| 氣管流量計 | |||||
| 氣體稀釋 | 空氣噴射器 | 風量：15N升/分鐘 | |||
| 真空計 | 壓力控制 | 電容壓力計：0.133~1330Pa，100Pa~133kPa | |||
| 大氣減壓 | 數字耦合：-100kPa~+100kPa | ||||
| 控制 | 溫度控制 | 程序控制 | |||
| 壓力控制 | 閥門開/關控制 | ||||
| 操作面板 |
設備開關、程序溫度控制器、真空計 顯示：溫度、真空度、操作設備開/關、報警、電源 |
||||
| 權力 | 單相的 | 100V?30A | 100V?50A | 200V?20A | |
| 外部尺寸 | 寬×深×高 | 1450×500×1200毫米 | |||
| 質量 | 125公斤 | 134公斤 | 128公斤 | ||
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