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產(chǎn)品詳情

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簡單介紹：

不會在真空室等真空環(huán)境中排出有問題氣體的接觸式傳感器 GN系列僅使用不排氣的零件制造，可在10-5Pa的高真空環(huán)境中使用。傳感器在無塵室制造，防污染措施徹底。在半導(dǎo)體生產(chǎn)線等中被大量采用。

詳情介紹：

選擇的理由

GN系列僅使用不排氣的零件制造，可在10-5Pa的高真空環(huán)境中使用。用于真空蒸鍍和濺射設(shè)備中晶片和掩膜的定位，陸續(xù)被大型半導(dǎo)體制造設(shè)備制造商采用。
?可使用上限溫度為120度
?不使用潤滑脂或潤滑油。

包括放大器和連接器在內(nèi)，每1個真空光纖傳感器和位移傳感器的成本接近20萬日元。
GN系列以低價格為客戶降低成本。

根據(jù)使用條件，備有直進(jìn)接觸型、電纜直角方向出線型、球形觸頭型等豐富的產(chǎn)品陣容。

提到真空環(huán)境，不同客戶的真空環(huán)境各有不同。
我們可根據(jù)客戶的環(huán)境變更傳感器主體和電纜的材質(zhì)，進(jìn)行客制化。
※圖片為磷青銅規(guī)格。

使用與普通生產(chǎn)線分開設(shè)置的GN系列專用無塵室進(jìn)行制造，徹底防止污染。

?·可變更電纜長度

?根據(jù)客戶的使用環(huán)境，可以單獨(dú)承接觸頭、外殼和電纜等零件材質(zhì)的變更。

型號	動作形態(tài)	重復(fù)精度	外形	行程	IP規(guī)格·防護(hù)結(jié)構(gòu)	LED	下載
GN-BP161B	B:NC	10μm	M16×1	2.9mm	IP40	無	目錄說明書 2D CAD
GN-BP5MA	A:NO	10μm	M5×0.5	0.8mm	IP40	無
GN-BP5MA-R	A:NO	10μm	M5×0.5	0.8mm	IP40	無

型號	動作形態(tài)	重復(fù)精度	外形	行程	IP規(guī)格·防護(hù)結(jié)構(gòu)	LED	下載
GN-CSK141B	B:NC	10μm	M14×0.5	5mm	IP40	無	目錄說明書 2D CAD
GN-PT5M3A	A:NO	3μm	M5×0.5	1.5mm	IP40	無
GN-PT5M3A-R	A:NO	3μm	M5×0.5	1.5mm	IP40	無
GN-PT5M3B	B:NC	3μm	M5×0.5	1.5mm	IP40	無
GN-PT5M3B-R	B:NC	3μm	M5×0.5	1.5mm	IP40	無

重復(fù)精度	3μm / 10μm（范圍）
接觸力	0.5Ｎ～1.5Ｎ
外徑	5～16mm
總長	18～47mm
方法	直進(jìn)?偏角?滑動
行程 ※全部動作	1.0ｍｍ～5ｍｍ
IP規(guī)格?防護(hù)結(jié)構(gòu)	IP40
使用溫度范圍	0～120℃
接點(diǎn)構(gòu)造	接點(diǎn)形
動作形態(tài) / 輸出	A : NO ／ B : NC
預(yù)行程	無～0.3ｍｍ
遲滯	0
接點(diǎn)精度壽命	300萬次
接觸頭材質(zhì)	A(NO):PEEK / B(NC):SUS HRC45
外殼材質(zhì)	SUS304
電纜線詳細(xì)信息	標(biāo)準(zhǔn)長0.5m　PTFE 散線　AWG30相當(dāng)
溫度漂移	0　(由干沒有放大器，因此不會出現(xiàn)伴隨電子零件所產(chǎn)生的溫度漂移）
振動	10～55Hz全振幅1.5 X、Ｙ、Ｚ各方向
沖擊	300?　X、Y、Z各方向
接點(diǎn)額定值	DC5V～DC24V 穩(wěn)定電流10mA以下（沖擊電流20mA以下）帶LED時
標(biāo)準(zhǔn)附件	2個螺母
適用真空度	10-5Pa
容許烘培溫度	120 ℃
注意事項(xiàng)	避免在操作速度低于10mm/min時使用。