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簡單介紹：

不會在真空室等真空環(huán)境中排出有問題氣體的接觸式傳感器 GN系列僅使用不排氣的零件制造，可在10-5Pa的高真空環(huán)境中使用。傳感器在無塵室制造，防污染措施徹底。在半導體生產線等中被大量采用。

詳情介紹：

選擇的理由

GN系列僅使用不排氣的零件制造，可在10-5Pa的高真空環(huán)境中使用。用于真空蒸鍍和濺射設備中晶片和掩膜的定位，陸續(xù)被大型半導體制造設備制造商采用。
?可使用上限溫度為120度
?不使用潤滑脂或潤滑油。

包括放大器和連接器在內，每1個真空光纖傳感器和位移傳感器的成本接近20萬日元。
GN系列以低價格為客戶降低成本。

根據使用條件，備有直進接觸型、電纜直角方向出線型、球形觸頭型等豐富的產品陣容。

提到真空環(huán)境，不同客戶的真空環(huán)境各有不同。
我們可根據客戶的環(huán)境變更傳感器主體和電纜的材質，進行客制化。
※圖片為磷青銅規(guī)格。

使用與普通生產線分開設置的GN系列專用無塵室進行制造，徹底防止污染。

?·可變更電纜長度

?根據客戶的使用環(huán)境，可以單獨承接觸頭、外殼和電纜等零件材質的變更。

型號	動作形態(tài)	重復精度	外形	行程	IP規(guī)格·防護結構	LED	下載
GN-BP161B	B:NC	10μm	M16×1	2.9mm	IP40	無	目錄說明書 2D CAD
GN-BP5MA	A:NO	10μm	M5×0.5	0.8mm	IP40	無
GN-BP5MA-R	A:NO	10μm	M5×0.5	0.8mm	IP40	無

型號	動作形態(tài)	重復精度	外形	行程	IP規(guī)格·防護結構	LED	下載
GN-CSK141B	B:NC	10μm	M14×0.5	5mm	IP40	無	目錄說明書 2D CAD
GN-PT5M3A	A:NO	3μm	M5×0.5	1.5mm	IP40	無
GN-PT5M3A-R	A:NO	3μm	M5×0.5	1.5mm	IP40	無
GN-PT5M3B	B:NC	3μm	M5×0.5	1.5mm	IP40	無
GN-PT5M3B-R	B:NC	3μm	M5×0.5	1.5mm	IP40	無

重復精度	3μm / 10μm（范圍）
接觸力	0.5Ｎ～1.5Ｎ
外徑	5～16mm
總長	18～47mm
方法	直進?偏角?滑動
行程 ※全部動作	1.0ｍｍ～5ｍｍ
IP規(guī)格?防護結構	IP40
使用溫度范圍	0～120℃
接點構造	接點形
動作形態(tài) / 輸出	A : NO ／ B : NC
預行程	無～0.3ｍｍ
遲滯	0
接點精度壽命	300萬次
接觸頭材質	A(NO):PEEK / B(NC):SUS HRC45
外殼材質	SUS304
電纜線詳細信息	標準長0.5m　PTFE 散線　AWG30相當
溫度漂移	0　(由干沒有放大器，因此不會出現伴隨電子零件所產生的溫度漂移）
振動	10～55Hz全振幅1.5 X、Ｙ、Ｚ各方向
沖擊	300?　X、Y、Z各方向
接點額定值	DC5V～DC24V 穩(wěn)定電流10mA以下（沖擊電流20mA以下）帶LED時
標準附件	2個螺母
適用真空度	10-5Pa
容許烘培溫度	120 ℃
注意事項	避免在操作速度低于10mm/min時使用。