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產品詳情

  • 產品名稱：SHINKUU真空設備清潔高真空沉積系統(tǒng)

  • 產品型號：VE-2050
  • 產品廠商：SHINKUU真空設備
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
樣品制備的下一步從清潔的高真空開始。 這是一種使用渦輪分子泵 （TMP） 排氣系統(tǒng)的清潔高真空沉積系統(tǒng)。 高真空有助于提高薄膜純度和密度。 如果按下觸摸面板上的 EVAC START 按鈕，系統(tǒng)會自動執(zhí)行從預排氣到高真空排氣的狀態(tài)。 它是一種**設計，可通過觸摸屏+程序控制防止操作錯誤。
詳情介紹：

VE-2050 提供各種可選附件。 我們還接受根據您的研究目的對功能進行額外修改。

特征

加熱器電源：*大電流80A（使用標準船時），電流表指示。
?真空排氣系統(tǒng)是由80L/sec TMP+50L/min RP和不需要冷卻水的全電磁閥組成的全自動排氣系統(tǒng)。
? 配備觸摸屏操作無法通過錯誤程序操作的**功能。
TEM和SEM擠壓的烘烤也可以在短時間內完成，節(jié)省時間。
?金屬涂層和陰影是超細顆粒沉積，提高分辨率。
?碳涂層也是一種堅固而致密的氣相沉積膜。 它有效地增強了碳并支持了薄膜的形成。
在停電的情況下，所有閥門都會自動關閉并保持真空。 只有旋轉泵會自動泄漏。
恢復斷電后，返回初始屏幕。
輸入開關是電路保護器。 如果設備中發(fā)生過電流，它將自動關閉。

主要產品規(guī)格

項目 規(guī)范
權力 AC100V（單相100V15A）
設備大小 寬度 534 mm，深度 675 mm，高度 1134 mm
（設備重量 80 kg）
旋轉泵（內置裝置） 抽速：50l/min（G-50DA）
渦輪泵（內置裝置） 抽速：67升/秒
真空度測量 全范圍真空計
樣品臺 直徑 58mm 水平樣品架（標準安裝）
真空室 200mm 內徑 x 248mm 高度 配備
ICF70 服務端口。
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