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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：RENISHAW雷尼紹 差分干涉儀

  • 產(chǎn)品型號：RLD10
  • 產(chǎn)品廠商：RENISHAW雷尼紹
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
差分發(fā)射頭具有獨特的光學(xué)設(shè)計，可實現(xiàn)極低的SDE性能。內(nèi)置的激光準(zhǔn)直輔助鏡可在設(shè)定過程中實現(xiàn)俯仰和扭擺角度調(diào)整，從而改進準(zhǔn)直過程（僅適合平面鏡應(yīng)用）。
詳情介紹：
RLD10-X3-DI發(fā)射頭可通過一個簡單的三針固定架安裝在工作腔的外墻上。無需進入工作腔即可校正光路，內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡可對參考和測量光束的俯仰和扭擺進行獨立的調(diào)整，安裝系統(tǒng)的設(shè)計允許拆卸發(fā)射頭和調(diào)整發(fā)射頭位置，對系統(tǒng)準(zhǔn)直的影響極小。
特性與優(yōu)點
優(yōu)異的測量性能 — ppb穩(wěn)頻精度，超低周期誤差，輸出分辨率達到38.6 pm。
差分配置 — 測量運動平臺相對于安裝立柱的位移，從而消除常見模式誤差，例如與環(huán)境波動有關(guān)的工作區(qū)側(cè)壁移動。

快速調(diào)節(jié)準(zhǔn)直 — 采用四個內(nèi)置激光準(zhǔn)直輔助鏡，很簡單地在真空室外部進行準(zhǔn)直調(diào)整，從而消除真空室和鏡組安裝公差。

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