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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科皮拉尼真空計傳感器型

  • 產(chǎn)品型號:SP1
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
傳感器單元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空計測量單元。「測定子和電路一體型(測定子可以更換)」結(jié)構(gòu),能夠降低成本和節(jié)省空間。
詳情介紹:
傳感器單元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空計測量單元。「測定子和電路一體型(測定子可以更換)」結(jié)構(gòu),能夠降低成本和節(jié)省空間。

特點

  • 傳感器規(guī)格:如果不需要壓力指示器
    ?真空計成降低
    ?控制板空間節(jié)省
    ?配線簡化
  • 測定子更換更容易
  • 燈絲使用耐腐蝕材料鉑
  • 到目前為止使用的測量部件(SP1:WP-01,02,03,16)仍在使用
  • 可以輸出2個設(shè)定點
  • SP1:壓力為0至5 V輸出(非線性輸出)
  • 電源電壓:24 VDC輸入

用途

  • 用于半導(dǎo)體?電子部件等各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
  • 用于爐等各種工業(yè)設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制
  • 用于in-line式?枚葉式等工藝腔室多的各種制造設(shè)備的低真空領(lǐng)域的工藝控制

規(guī)格

類型 傳感器單元
SP1系列
兼容傳感器頭 WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

準(zhǔn)確性

±15 %(51 Pa ~760 Pa)
±30 %(10 Pa ~1000 Pa)
±50 %(0.4 Pa ~3000 Pa)
工作溫度范圍 10~40°C
測量值輸出 非線性輸出:0 至 5VDC(*大 10V)
設(shè)定點 1/2 壓力設(shè)定調(diào)整監(jiān)視器 非線性輸出:0 至 5VDC(*大 10V)
控制輸出信號 集電極開路輸出,負(fù)邏輯
錯誤信號
設(shè)定值 1/2
LED顯示屏 功率、誤差、設(shè)定點 1、設(shè)定點 2
電源電壓 DC24V±2V,90mA(*大)
輸入/輸出連接器 D-sub-15P(M2.6螺絲)
重量 190 克/0.41 磅(不包括傳感器頭)

標(biāo)準(zhǔn)配件

輸入/輸出連接器 1pc
快速手動 1pc

IO 和模擬 GND 不與電源 GND 隔離。

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