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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科殘留氣體分析儀

  • 產(chǎn)品型號：HGM2-202
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
Qulee HGM2是ULVAC新推出的Qulee系列殘留氣體分析儀（支持以太網(wǎng)通訊）的**機型，在簡單易用方面具有革 命性意義。 實現(xiàn)2.5×10 -6 A/Pa（法拉第杯）的高靈敏度，滿足從各種研發(fā)應(yīng)用到真空設(shè)備過程控制的所有需求。
詳情介紹：
Qulee HGM2是ULVAC新推出的Qulee系列殘留氣體分析儀（支持以太網(wǎng)通訊）的**機型，在簡單易用方面具有革 命性意義。
實現(xiàn)2.5×10 -6 A/Pa（法拉第杯）的高靈敏度，滿足從各種研發(fā)應(yīng)用到真空設(shè)備過程控制的所有需求。

特點

  • 測量質(zhì)量范圍 1～200 amu
  • 各種研究和開發(fā)應(yīng)用的理想選擇 - 實現(xiàn)作為**功能的*高感光度?2.5×10-6A/Pa
  • 通訊接口 - 支持以太網(wǎng)通訊
  • 顯示部分一體化的設(shè)計 無需電腦也可進行測量
  • 操作簡單 - One Click機能（對每個人來說都很容易，不需要復(fù)雜的操作）
  • 烘焙兼容 - 連接傳感器單元時可進行高達 250°C 的高溫烘烤（傳感器單元斷開時：300°C）
  • 搭載DEGAS功能 - 采用電子沖擊脫附法
  • 維護 - 易于更換燈絲、離子源和二次電子倍增器
  • 增強預(yù)防性維護功能 - 離子源和二次電子倍增器的預(yù)防性維護,配備分析管溯源功能（**第5016031號）
  • 增強檢漏功能 - 能夠進行氦氣泄漏測試、空氣泄漏測試和累積測試
  • 可以測量總壓力
  • 標(biāo)準(zhǔn)搭載Qulee QCS軟件
  • 符合CE

用途

  • 熱脫附分析等各種研究開發(fā)
  • 超高/超高真空抽氣設(shè)備的殘余氣體分析等。
  • 氣體中痕量雜質(zhì)的測量
  • 與太陽能電池相關(guān)的研發(fā)
  • 有機分析
  • 環(huán)境測量

規(guī)格


型 HGM2-202型 HGM2-302型
大容量過濾器類型 四極桿
質(zhì)量范圍 1~200 AMU 1~300 AMU
分辨率 M/ ΔM=1M（10%磷酸）
探測器類型 Faraday cup
 SEM
 Faraday cup SEM
敏感性 2.5×10-6A/By @1.0A/PA4 A/Pa 4 A/Pa 2.0×10-6A/By @1.0A/PA 4 A/Pa
3.3×10-4A/托爾 533 安/托 3.3×10-4A/托爾 533 安/托
2.5×10-4A/毫巴 400 安/毫巴 2.5×10-4A/毫巴 400 安/毫巴
*小可測定分壓 約10-9Pa 約10-13Pa 約10-9Pa 約10-13Pa
約7.5×10-12托 約7.5×10-16托 約7.5×10-12托 約7.5×10-16托
約1×10-11毫巴 約1×10-12毫巴 約1×10-11毫巴 約1×10-12毫巴
*大工作壓力 1×10-2Pa
7.5×10-3托
1×10-4毫巴
燈絲 LR / Y2O3 ， 2pcs
電離電壓 25 ~ 70 eV（減壓：70eV）
發(fā)射電流 0.1mA/0.5mA/1.0mA（默認：0.5mA）
德加 電子轟擊型 330V，5mA
總壓力函數(shù) 有能力 / 10-2 ~ 10-5Pa
“一鍵式”功能 能夠 / He / H2O / N2 / O2 / 任何氣體
“一鍵式”檢漏功能 能夠
電源輸入 DC24V±10% 50W
重量（傳感器單元/傳感器） 2.4千克/0.81千克
傳感器*高工作溫度 250°攝氏度（482°華氏度)
*高烘烤溫度
（已刪除elsectronisc） 		300°攝氏度（572°華氏度)
工作溫度范圍 10 至 40°C（50 至 104°F)
工作濕度范圍 15 ~ 80%（不凝結(jié)）
IP 等級 IP30（傳感器單元）
電源連接器 MSTBV2.5/3-STF-5.08
通訊接口 以太網(wǎng)兼容
外部輸入/輸出連接器 D-sub15 針（M2.6 螺絲）（eith 選項）
通信連接器 RJ45接口
外部輸入/輸出信號 模擬量輸入（0至10V）×2，外部聯(lián)鎖輸入（壓力保護）×1，誤差輸出×1（FIL，SEM，RF，故障），分壓設(shè)定點輸出×2（故障，報警），總壓力設(shè)定點輸出×1
軟件 Qulee QCS Ver.4.2以降（Windows 8/10/11）適用
標(biāo)準(zhǔn)配件 電源連接器、LAN電纜（3m長）、軟件（安裝光盤）、使用說明書（光盤）
選裝配件
（參見 Qulee 選裝目錄） 		LAN電纜（10,15,20,30,50m長），AC電源適配器，USB-LAN適配器，刷卡集線器（8端口或16端口），輸入/輸出連接器，護套加熱器，手提箱
適用標(biāo)準(zhǔn) CE

※請準(zhǔn)備AC/DC電源或購買可選的AC/DC適配器。

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