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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：THERMOCERA日本SH加熱器
產(chǎn)品型號(hào)：SH-IN
產(chǎn)品廠商：THERMOCERA日本K.K
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

高真空、高性價(jià)比的高溫加熱器，非常適合惰性和活性氣體中的薄膜實(shí)驗(yàn)

詳情介紹：

SH 系列 Incone/BN 板基板加熱器使用氣密加熱器塊來(lái)防止工藝氣體和體積進(jìn)入，使其成為 CVD 等薄膜實(shí)驗(yàn)的理想選擇。 *高工作溫度：*大850°C（SH-IN），MAX1100°C（SH-BN），加熱有效面積：φ1.0至6.1英寸。標(biāo)配基板固定夾（固定在屏蔽外殼表面）和K型護(hù)套熱電偶，還可以制造可選的真空引入法蘭（ICF、VG、NW等）、電路板旋轉(zhuǎn)機(jī)構(gòu)、基板法蘭和基板偏置規(guī)格。