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產品詳情
  • 產品名稱:MEIWAFOSIS日本碳涂布機

  • 產品型號:CADE-4T
  • 產品廠商:MEIWAFOSIS日本
  • 產品文檔:
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簡單介紹:
氣相沉積源為超高純度(99.995%)碳纖維, 非常適合SEM觀察、EDS分析、FIB保護膜等各種分析。
詳情介紹:

現在可以在相同真空下涂覆兩次的“4端子型號”(CADE-4T)

碳涂布機(CADE)的圖像

無間隙涂層可防止充電,并且來自兩個氣相沉積源的薄膜沉積改善了碳顆粒的周長。
薄膜和厚膜控制可防止W庫損壞,也是FIB保護膜的理想選擇。
可以在同一個真空中形成彼此重疊的薄膜,從而更容易形成厚薄膜。

相同真空+親水處理功能下的碳沉積(CADE-E)

CADE-E具有等離子體處理功能。 由于等離子體處理和碳氣相沉積可以在同一真空中進行,因此涂層后的親水處理可以在連續(xù)過程中進行。
樣品表面可在碳包覆前通過等離子放電進行清洗,碳包覆后可對碳支撐膜進行親水處理。 由于樣品可以在相同的真空下進行處理,而無需裝載或卸載,因此可以在不與大氣接觸的情況下進行涂層,并且可以進行無污染的分析。

碳涂布機(CADE)同一真空下的碳氣相沉積+親水處理功能圖

使用超純(99.995%)碳纖維進行無雜質分析

碳纖維是一種由石墨纖維制成的定制產品,經過2000°C的高溫處理,已*大限度地消除雜質。 纖維是超細、柔軟的編織纖維,待沉積的碳顆粒涂有細粒徑。
此外,CADE還實現了預熱功能,允許在沉積前進行10秒的低溫加熱,以完全消散纖維中殘留的痕量雜質,從而產生更純凈的沉積源。
此外,由于纖維只使用一次,因此沒有雜質殘留。 它是各種分析的理想選擇,例如 SEM 觀察、EDS 分析和 FIB 保護膜。

碳涂布機(CADE)的碳氣相沉積圖像

與機械筆碳涂布機的比較

機械筆的筆芯含有油和其他材料的混合物,便于書寫。
在進行元素分析時,如果混合了另一種元素,則無法確定它是否是從Mr./Ms.衍生的元素,并且很難進行定量分析。
CADE的碳纖維由高純度纖維制成,預熱可去除雜質并提高純度,從而沉積*佳薄膜以供分析。

碳涂布機(CADE)與機械筆式氣相沉積源的碳氣相沉積對比圖

低電流、短時間涂層,無熱損傷

由于CADE的氣相沉積源是纖維狀的,因此電流容易流動,并且可以涂覆低電流(約35A)和短時間(1.7秒)。 在碳纖維棒類型中偶爾會看到由火花引起的熱損傷,但 CADE 在碳纖維燒毀之前通過計時器控制來防止它。

碳棒類型的問題

碳涂布機(CADE)棒狀圖像

× 設置難以設置且容易
折斷的桿時要小心,因為如果擰緊松動,零件的阻力會很強,會儲存熱量,如果擰得太緊,芯子會斷裂。 此外,在設置時需要時間和精力來磨練它。

× 由于涂層過程中產生火花而拉扯的熱損傷
棒不易傳遞熱量,必須承受大電流,從而導致樣品的熱損傷。

× 涂覆后,氧化雜質殘留在剩余的碳棒上一旦凝固,可多次使用,但每次更換拉/拉搓時,氧化物殘留在剩余的碳棒上,
導致含有雜質的薄膜不均勻且不可重復。

整個過程只需5分鐘即可完成

氣相沉積源的碳纖維的附著就像在電極之間夾住它一樣簡單。 柔軟的纖維使其易于操作,只需輕輕一按即可安裝。
此外,還使用了 136 l/min 的大型真空泵,可以在很短的時間內進行加工。

碳涂布機(CADE)全過程 圖像

高度可重復的一次性涂層

可重復的膜厚可以通過真空和樣品臺距離輕松控制。 此外,CADE具有1.7秒的恒定涂層時間,因此通過預先確定真空度和載物臺距離,具有高度的可重復性,無論誰進行加工,都可以達到相同的膜厚。
* 由我們的 FS-1 橢圓儀測量的結果

碳涂布機(CADE)薄膜厚度指數圖

用于測量的多光譜橢圓儀

橢圓計
  • 四色LED光源和用于橢偏光譜分析的**新MWE技術
  • 埃納米薄膜的薄膜測量
  • 安裝在MBE、MOCVD、CVD、ALD、濺射等上,對氣相沉積薄膜進行原位高速測量和評估
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