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簡(jiǎn)單介紹：

這是一款UV-LED光源，用于在g線和i線光刻膠兼容晶圓周?chē)毓狻?獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)可實(shí)現(xiàn)超過(guò) 7,000 mW/cm2 的高輸出。

詳情介紹：

項(xiàng)目	物質(zhì)
工作環(huán)境溫度	5~40°C（無(wú)凝結(jié)。）
電源電壓	單相 100~240V
工頻	50/60赫茲
發(fā)光峰值波長(zhǎng)	365±5納米
光輸出穩(wěn)定性	±5%以內(nèi)
初始紫外線強(qiáng)度	2000mW/c㎡以上（365nm處，距掩模0.5mm）
強(qiáng)度分布的均勻性	10%以下（4×5mm區(qū)域）
紫外線發(fā)光源	UV-LED燈
紫外光源壽命	20000小時(shí)（大驅(qū)動(dòng)電流下的預(yù)計(jì)壽命）紫外線強(qiáng)度為初始強(qiáng)度的 50% 或以上時(shí)的照明累積時(shí)間
輻照開(kāi)/關(guān)功能	UV-LED 開(kāi)/關(guān)控制（通過(guò)遙控和手動(dòng)控制開(kāi)燈和關(guān)燈）
光強(qiáng)調(diào)節(jié)功能	UV-LED電流調(diào)節(jié)光強(qiáng)度調(diào)節(jié)范圍為20~100%
外墻材料	不銹的
外形尺寸	150（W） × 200（D） × 192（H）毫米