TSI美國高流量 Turbo II 蒸發(fā)器2855PE

TSI美國高流量 Turbo II 蒸發(fā)器2855PE

MSP 的 Turbo II? 氣化器 2855PE 專為需要中高蒸汽流速的高精度微電子應用而設計。新型 2855PE 基于經(jīng)過現(xiàn)場驗證、高度可靠且低維護的 MSP 渦輪蒸發(fā)?器，可提供兩倍的蒸汽

尺寸 （高 x 寬 x 深）	236 毫米 x 84 毫米 x 142 毫米（9.3 英寸 x 3.3 英寸 x 5.6 英寸）
重量	5.2 千克（11.5 磅）
配件（在設備上）	載氣入口	1/4 英寸VCR 內(nèi)螺紋開口螺母
	液體入口	1/8 英寸錄像機母頭
	蒸汽出口	1/4 英寸錄像機母頭
	壓縮空氣	4 mm 即時卡套管接頭
接液部件	SS 316、PEEK、PTFE、Elgiloy®、FFKM、PCTFE
泄漏完整性	≤ 1x 10-8帕米3/s 氦
加熱器功率要求1	208 伏交流、60 Hz、900 W
載氣	建議使用惰性氣體
*大載氣流量1	10 標準升/分鐘 N2@ 50 磅/平方英寸
*大液體流量2	40 g/min（TEOS 或同等產(chǎn)品）
系統(tǒng)壓力限制	150 磅/平方英寸
壓縮空氣	90 至 110 psig
溫度范圍3	40°C 至 200°C
溫度傳感器	2 個 K 型熱電偶
輔料	包括電源線。AMP CPC，4 針連接器，相對端有 3 根懸空引線

規(guī)格如有更改，恕不另行通知。

1*大載流、加熱器功率 （W） 和線路電壓可在工廠調(diào)整，請訪問 www.tsi.com/contact 獲取更多信息。
2*大液體流量取決于工藝。該規(guī)格假設汽化器溫度為 200°C，*大載氣流量和壓力 <50 Torr，緊鄰汽化器下游..
3需要適當?shù)耐L。