TSI美國VPG-A3 在線過濾器2920-01-5001

TSI美國VPG-A3 在線過濾器2920-01-5001

VPG-A3 蒸汽工藝氣體過濾器是一種超低壓降、高效的在線過濾器，專為蒸汽和工藝氣體過濾而設(shè)計(jì)。這款受**保護(hù)的 316L SS 過濾器具有耐化學(xué)性和耐熱性，可在高達(dá) 100 SLPM 的壓力下使用。該過濾器的壓降極低，使其更容易在超低壓環(huán)境中工作，并降低了過濾器中發(fā)生氣相反應(yīng)的風(fēng)險(xiǎn)。

產(chǎn)品詳情

傳統(tǒng)的高純度使用點(diǎn)氣體過濾器用于壓縮氣體管路中，用于去除顆粒。VPG-A3 過濾器還在真空流動條件下用于蒸發(fā)器的下游，以防止可能存在于氣體/蒸汽混合物中的顆粒進(jìn)入化學(xué)氣相沉積 （CVD） 或原子層沉積 （ALD） 工藝室。VPG-A3 過濾器由 316L SS 燒結(jié)粉末介質(zhì)制成，表面積大，使用壽命長。

應(yīng)用

• 蒸汽工藝氣體
• 超高純氣體
• 高溫
• 惰性或反應(yīng)性氣體
• 高真空和超高真空
• 半導(dǎo)體制造

特性和優(yōu)勢

• 316 不銹鋼
• 表面積大 – 使用壽命長
• 使用高達(dá) 100 SLPM
• 顆粒去除效率高
• 超低壓降
• 1/2“ VCR 配件

受**保護(hù)的設(shè)計(jì)