TSI美國自動加載 20 nm 顆粒沉積系統(tǒng)2332

TSI美國自動加載 20 nm 顆粒沉積系統(tǒng)2332

這種全自動顆粒沉積系統(tǒng)沉積 PSL 和 SiO2小至 20 nm 的球體。通過生產(chǎn)大量高質(zhì)量的定制 300 mm 和 200 mm 污染標(biāo)準品，輕松、自信、高效地校準和鑒定您的缺陷檢測工具。機器人晶圓處理允許在單個控制作業(yè)中處理多達 25 個晶圓，從而提高計量作的生產(chǎn)率并提高產(chǎn)品產(chǎn)量。

產(chǎn)品詳情

2300G3A 型顆粒沉積系統(tǒng)為在裸片、薄膜和圖案晶圓上沉積粒度標(biāo)準品（包括 MSP 納米二氧化硅?尺寸標(biāo)準品）提供了**的性能。2300G3A 采用先進的顆粒生成和差分遷移率分析儀 （DMA） 技術(shù)，以亞納米級的可重復(fù)性和 SI 可追溯性控制沉積顆粒的模態(tài)直徑，適用于半導(dǎo)體制造中要求苛刻的計量應(yīng)用。該色譜柱可容納 16 個顆粒懸浮液，DMA 模式工作范圍為 20 nm 至 2 μm，幾乎任何檢測工具的校準曲線都可以使用單個自動配方通過沉積生成。

應(yīng)用

• 可追溯的檢測系統(tǒng)校準
• 符合傳統(tǒng)晶圓污染標(biāo)準
• 來料裸晶圓檢驗/鑒定
• 確定專有薄膜的檢測靈敏度
• 橡皮布薄膜監(jiān)測
• 檢測工具開發(fā)和認證
• 工藝工具鑒定、工藝學(xué)習(xí)和監(jiān)控

特點和優(yōu)勢

• 完整（毯狀）、點、弧和環(huán)沉積圖案
• 沉積顆粒粒度的**配方控制
• 納米顆粒霧化，用于產(chǎn)生 20nm 的清潔顆粒
• DMA 尺寸分類，用于窄尺寸分布選擇
• *大限度地減少顆粒簇和殘留顆粒
• 沉積圖案寬度的配方控制
• 配方、沉積和懸浮液分析報告
• 人體工程學(xué)設(shè)計
• 全球服務(wù)和支持