加熱器與過濾精度達(dá) 0.1μm的過濾器同時搭載。

該系列可用于半導(dǎo)體制造工藝中的液化氣體過濾，接觸氣體部分材完全采用SUS316L不銹鋼材質(zhì)。該系列還搭載了LINTEC自主研發(fā)的低壓損結(jié)構(gòu)。

特點

  • 0.1μm 的過濾精度
  • *高使用溫度達(dá)200℃
  • 全金屬無塵構(gòu)造
VF-0201N

使用范例

該系列過濾器可安裝在汽化系統(tǒng)后方，用于消除可能導(dǎo)致產(chǎn)品缺陷的微粒及霧狀物。