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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：EBARA荏原干式真空泵EV-X100N

  • 產(chǎn)品型號：進(jìn)口供應(yīng)
  • 產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
EBARA荏原干式真空泵EV-X100N
詳情介紹：

EBARA荏原干式真空泵EV-X100N

EBARA荏原干式真空泵EV-X100N

 產(chǎn)品概述
（1） 廣泛的工藝覆蓋范圍
大流量主泵和我們獨特的副產(chǎn)品對策支持廣泛的工藝，從離子注入等低氣體流量工藝到外延生長等大氣體流量工藝，以及產(chǎn)生大量副產(chǎn)品（如 TiN 沉積）的工藝。 還可以減少備用機(jī)器的庫存并在未來擴(kuò)展流程。

（2） 由于新開發(fā)的模塊化設(shè)計，小型化和更短的交貨時間 采用針對
自動化工廠制造的模塊化設(shè)計進(jìn)行了優(yōu)化，以縮短交貨時間并進(jìn)一步實現(xiàn)小型化。 隨著設(shè)備和腔室數(shù)量的增加，可以高效靈活地布置承受壓力的 sub-fab 空間。

（3） 降低
TCoO 我們獨特的轉(zhuǎn)子設(shè)計和節(jié)能技術(shù)使功耗比我們目前的型號降低了 25~50%。
它有助于減少 CO2 排放。 此外，每個過程的*佳溫度控制提高了
工藝阻力。 延長零件的更換周期有助于減少 TCoO。


型 EV-X100N EV-X200N  EV-X300N
*大抽速 （L/min） 10,000 20,000 30,000
極限壓力 （Pa） 0.5 0.5 0.5
電源規(guī)格 三相 200-220V （50/60Hz） 三相 200-220V （50/60Hz） 三相 200-220V （50/60Hz）
工作范圍功耗 （kW）* 0.9 1 1.5


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