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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：EBARA荏原干式真空泵
產(chǎn)品型號：ESA25XW
產(chǎn)品廠商：EBARA荏原
產(chǎn)品文檔：

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簡單介紹：

EBARA荏原干式真空泵 ESA25XW，北崎有售，歡迎咨詢。

詳情介紹：

EBARA荏原干式真空泵 ESA25XW

產(chǎn)品介紹

ESA型產(chǎn)品陣容包括1400L/min～10,000L/min排氣量的機(jī)型，適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣，以及20,000L/min～80,000L/min排氣量的機(jī)型，適合大型腔室高速排氣。適合輕質(zhì)氣體排氣的10,000L/min以下機(jī)型采用緊湊化設(shè)計(jì)，可以選擇耐腐蝕性材料選配件，是MO-CVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的*佳選擇。大型機(jī)型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點(diǎn)，還可選擇有機(jī)溶劑排氣用選配件，是LCD濺鍍裝置、真空干燥工藝和大型預(yù)真空鎖等的*佳選擇。

規(guī)格

設(shè)備名稱

單位

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W(-D)

ESA70WN(-D)

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

ESA200W

ESA300W

ESA500W

ESA700W

排氣速度

L/min

1,400 (50Hz)

2,500 (50Hz)

5,000 (50Hz)

7,000 (50Hz)

8,400 (50Hz/60Hz)

10,000 (50Hz/60Hz)

20,000 (50Hz/60Hz)

28,000 (50Hz)

47,000 (50Hz)

80,000 (50Hz/60Hz)

1,700 (60Hz)

3,000 (60Hz)

6,000 (60Hz)

8,400 (60Hz)

30,000 (60Hz)

50,000 (60Hz)

極限壓力

400 (50Hz)

5.3 (50Hz)

0.27 (50Hz)

0.4 (50Hz)

0.13

0.27

0.13

0.27

0.53

0.5

270 (60Hz)

4.0 (60Hz)

0.13 (60Hz)

0.27 (60Hz)

連接口徑

吸氣口

NW40

NW50

ISO80

NW50

NW80

ISO100

ISO160

排氣口

NW40

NW50

極限壓力時(shí)功率概值

2.9 (50Hz)

2.6 (50Hz)

5.2 (50Hz)

3.6 (50Hz)

4.2

4.9

3.2 (50Hz)

6.6 (50Hz)

5.1 (50Hz)

7.4

3.2 (60Hz)

2.9 (60Hz)

5.8 (60Hz)

4.0 (60Hz)

3.4 (60Hz)

7.3 (60Hz)

6.7 (60Hz)

冷卻水

流量

L/min

3.5~8

7~16

3.5~8

6~9

溫度

℃

Max. 30

流量

Pa?m3/s

14~17 (4.6)

17~20 (3.8)

34~40

24~27 (4.7)

54~57

54~45

17~20 (3.8)

7.5~10.5

8.5~11

電源　相／電壓／頻率

200V機(jī)型

三相/200V/50Hz
三相/200-220V/60Hz

400V機(jī)型

三相/380-400V/50Hz
三相/380-440V/60Hz

460V機(jī)型

三相/440V/50Hz
三相/440-480V/60Hz

電源容量

kVA

6.4

12.8

10.3

12.6

23.7

41.3

46.5

質(zhì)量概值

240

480

380

400

410

700

750

1200

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產(chǎn)品名稱：EBARA荏原 干式真空泵

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