- SUGIDEN杉山電機
- Kashiyama樫山工業(yè)
- 機器人質量比較儀
- METTLER TOLEDO...
- ASAHI-SPECTRA
- DRE東榮電子
- DAIICHI NEKKEN...
- DIC迪愛生
- 法國SES-STERLING
- 瑞士史陶比爾STAUBLI
- 德國Di-soric
- 德國OPTRIS
- SERIC索萊克
- Fujikin富士金
- SANKO三高
- 德國WAGO
- NPM日本脈沖
- 美國FLUKE福祿克
- TSI
- LINTEC林泰克
- RION理音
- BRUKER布魯克
- hamamatsu濱松光子
- KKIMAC萊馬克
- NIPPON GEAR日本齒...
- MIYACHI天田
- S-VANS斯萬斯
- YODOGAWA淀川
- YUTAKA優(yōu)塔卡
- YAMADA雅瑪達
- NS日本精密科學
- Kakuhunter寫真化學
- MITUTOYO三豐
- MIYUKI美幸輝
- NOHKEN能研
- IWAKI易威奇
- NAGANO KEIKI長野...
- THINKY日新基
- OHAUS奧豪斯
- SIBATA柴田
- TOKISANGYO東機產業(yè)
- NFK南國工業(yè)
- TOADKK東亞電波
- CCS晰寫速
- TOPCON拓普康
- METTLER梅特勒
- FUNATECH船越龍
- INFLIDGE英富麗
- AND愛安德
- ZAYTRAN
- RlKEN KElKl理研
- EABRA荏原
- DAIICHI NEKKEN...
- ISHIZAKI石崎
- SONOSABER本多
- AIRTECH安泰
- TAISEIKIKO大成機工
- CHROMA致茂
- OSAWA大澤
- FORTUNE富創(chuàng)制作所
- TOAGOSEI東亞合成
- KEYSIGHT是德
- B&K
- AIKOH愛科
- COJOT
- TAIHO大鵬
- PHOTRON活圖隆
- ETA-USA
- EIWA永和
- ELODENKI江藤
- HELLERMANN TYT...
- OPPAMA追浜工業(yè)
- TOYOKO KAGAKU東...
- FUJI富士
- EXCEL聽音機
- SOMAX
- HITACHI日立
- FYH
- DAIJI大自工業(yè)
- LOAS
- TOKYO TSUSHIN東...
- SUGAWARA菅原
- IHDC
- MEIDEN明電北斗
- FUJICON富士
- SANKYO三協(xié)
- KOSHIN東佳
- YOKOHAMARIKA橫濱
- MIRUC米瑞克
- MUTOH武藤
- TAKASAGO高砂
- JST日本時間
- OVAL
- EMIC愛美克
- SAKAI酒井
- DAIKIN大金
- FUJITSU富士通
- YOKOGAWA橫河
- KILONY
- TECLOCK得樂
- TEIKOKU帝國
- KOD小寺
- ACE GIKEN技研
- SWAGELOK世偉洛克
- SGS清水
- TOYO東洋
- OKM
- KNF 凱恩孚
- DAIO 大王
- RHESCA力世科
- SURFGAUGE
- CYGNUS賽納生物
- YUTAKA杉本
- NIKUNI尼可尼
- KRONE克朗
- IMADA 今田
- BEAT SENSE
- BROOKS 布魯克斯
- THOMAS 托馬斯
- KDN京都電機
- SAITOHK 齊藤光學
- DENGENSHA TOA電...
- TSUBAKI 椿本
- 北崎現(xiàn)貨
- ISOWATEC沃森-馬洛
- MIYAWAKI日本
- YUTAKA日本
- IZUMIDENNETU泉電...
- KOTOHIRA琴平
- GASTEC日本
- SINAGAWA品川
- TOKU東空
- LINE 萊茵
- HISHIKO菱小
- TSUBOSAKA壺板電機
- MEITOU名藤化工
- ANALYZER
- GRAPHTEC圖技
- HIOKI日置
- DAIICHIKEIKI**...
- KORI古里精機
- Mother Tool母工具
- ARK TECH方舟
- RIKEN KEIKI理研
- AKAMATSU赤松電機
- SERIC賽瑞克
- SEIWAOPT清河光學
- SAIKA佐加
- MOTOYAMA本山
- POWREX派沃斯
- TAIWA臺和
- MITSUIEC 三井電氣
- FUJIHIRA富士平工
- MINATO CONCEPT...
- MEIWAFOSIS日本
- SONOTEC超音波
- HANATSUKA花塚
- YOSHIDA吉田制作
- SOMA相馬光學
- CHO-ONPA超音波工業(yè)
- RIGO離合社
- KSK加藤
- JAI分析工業(yè)
- KIMMON金門科哈
- EDDIO哈拉電子
- KAWAKI川木柿
- NTS日本
- YAZAWA矢澤科學
- SHODENSHA松電社
- JULABO優(yōu)萊博
- SEKONIC世康尼克
- TEXIO德士
- SANWA 三和電氣
- NAKAKEI中慶
- KONAN中村
- ACT阿克特
- NAKANISHI中西
- HOZAN寶山
- MIGHTY威力
- KONSEI近藤制作所
- ANTON PAAR安東帕
- Japan sensor日本...
- KIKOH木子技研
- SHINOH新櫻電氣
- HIYOSHI日吉電機
- MALHATY丸八
- TOHSHIN東振
- ADVANCE RIKO先進...
- MAEDAKOKI前田機械
- SHINKA新科
- FKK-NET富士化學
- NISHIYAMA西山
- KENKO肯高
- ASAHI-SEIKO朝日精...
- SUGITOH杉藤
- RYUKI東京流機
- CEW中央電機
- U-TECHNOLOGY優(yōu)科...
- FUJITECOM富士東訊
- DAIKI大起理化
- SHOSHU近江
- RIGAKU日本理學
- JP-UNION優(yōu)尼恩
- CCSAWAKI澤木工房
- ADTECH日本
- TOHNIC托尼克
- OSI王子
- TOHIN東濱
- NPC西村陶業(yè)
- TEKHNE泰科尼
- ATSENSE安森
- YUMEAL玉梅爾
- KITA喜多
- UBM日本博聞
- NIHONIKA日本醫(yī)療
- IRIE入江
- KELK凱爾
- NAPSON納普森
- THERMOCERA日本K....
- NipponFreezer弗...
- HORIKOSHI堀越
- ESPEC埃斯佩克
- TOMY湯米工業(yè)
- SEM坂本
- OPTCOM奧特康
- SND勝安達
- UNION聯(lián)合電機
- NISSIN日新理化
- FUKKO伏虎
- BUCHI布奇
- DIAVAC日本大亞
- ISUZU五十鈴
- GALILEI伽俐略
- SANYO三洋
- INOX東榮
- DAIDO大同
- TGK東京硝子
- JASCO日本分光
- OHKURA大倉
- YAMATO大和
- YAYOI彌生
- ULVAC愛發(fā)科
- SCINICS賽尼克斯
- IMV愛睦威
- CEDAR思達杉崎
- OBISHI大菱
- DOYEI同榮
- BIG大昭和
- SKSATO佐藤
- LUCEO路西奧
- TDC東光
- KUBOTA久保田
- MAGNIX東洋
- RENISHAW雷尼紹
- ADS
- TOKO東光化學
- PILLAR比拉
- MUSASINO武藏野
- IMADA今田
- MANDK曼德克
- MECT梅克特
- MICROTECH微科技
- SUN-KAGAKU太陽科學
- SHIBAURA芝浦機電
- MURAYAMA村山電機
- TERADA 寺田
- MARTEC馬爾泰克
- WAKAIDA若井田
- BIONICS仿生學
- H-REPIC
- TESEC特塞克
- TOKYOKODEN東京光電
- DAIOH大旺新洋
- AE-MIC
- MORIKAWA森川
- NAKASEIKI仲精機
- PORTEC普羅特
- SINKO-DENKI信光電...
- MAGNA麥格納
- TOYOX東洋克斯
- NLC仲氏液控
- SHINSEI新生精機
- MINORU
- AKIYAMA秋山機械
- otake大竹
- OSHOMANOKI
- KAWATA川田
- OURSTEX
- MARU丸七
- TECMAN泰曼
- YAMAMOTO
- FUJIWARA藤原
- SUN SCIENTIFIC...
- SHIMADEN島電
- NARISHIGE成茂
- IHARA伊原
- YAMATAKE山武
- MICROSTONE微石
- KIMO凱茂
- Magnescale
- NEWERA新時代
- KONICA MINOLTA...
- HOKUYO北陽電機
- KANETEC強力
- FUJIWARA藤原制作所
- SHINKUU真空設備
- TANDD
- Gardasoft
- IDEC和泉
- ISHIKAWA石川
- SMT
- MACOME碼控美
- HEIDON新東科學
- NAKA仲精機
- IEDA家田
- DELTAOHM
- Thermoport
- Greisinger格雷辛格
- SHIZUOKA日本靜岡
- SR三木
- OKAZAKI岡崎
- SK-SATO佐藤
- OKANO岡野制作所
- ANRITSU-METER安...
- AGELA博納艾杰爾
- PHENOMENEX飛諾美
- PHILIPS飛利浦
- PARKER派克
- IMADA依夢達
- Chnspec彩譜
- Asahi-spectra朝...
- MINEBEA美蓓亞
- IMAO今尾
- NABEYA日本鍋屋
- B&PLUS巴魯夫
- NIPPON GEAR齒輪工...
- CAPITAL-PUMPS資...
- NINOMIYA二宮電纜
- YAMAMOTO-MS 山本...
- SURUGASEIKI駿河精...
- ASKAR高分子計器
- ASK
- RKC理化工業(yè)
- KROMASIL諾力昂
- EYELA東京理化
- MUSASHI武藏
- DIT東日技研
- EYE巖崎
- 銥晶科技
- OMRON歐姆龍
- Kromasil克羅馬西爾
- NIDEC尼得科
- BEL意大利倍爾
- SONIC索尼克
- ASONE亞速旺
- SANKO山高
- ATTO日本安藤
- SOLAX/SERIC索萊克
- SHARP夏普
- TSUBOSAKA壺坂
- KEM京都電子
- SANXIN日本三信
- REVOX萊寶克斯
- KOKEN日本興研
- SUGIYAMA杉山電機
- IMT艾磨特
- KYOWA共和
- FUJIIMPULSE富士音...
- KIKUSUI菊水
- SHIMADZU島津
- METROHM瑞士萬通
- OTSUKA大塚
- PECULIAR普拉勒
- YAMATO雅馬拓
- VACUUBRAND普蘭德
- GW固緯
- RIKEN理研
- CUSTOM東洋計量
- KYORITSU共立
- IKA艾卡
- HORIBA日本堀場
- YIHENG一恒
- SHOWA GIKEN昭和技...
- KYOWA協(xié)和工業(yè)
- SSD西西蒂
- G-MEN日本
- INTECS
- SATOVAC 佐藤真空
- DITECH迪泰克
- HAKKO日本白光
- AMADA天田
- SENSEZ森茲
- MORITEX茉麗特
- VIBRA新光電子
- TOSHIBA東芝
- HENIX梅田
- JISC積世克
- MANOSTAR 山本電機
- NIPPONMUKI無機
- YAMADA山田
- TEAC泰克
- MIDORI
- EIWA榮和
- KOSAKA 小坂
- EMP榎本
- TAIYO太陽鐵工
- ACCRETECH東精精密
- PISCO匹士克
- PANASONIC松下
- KURODA黑田精工
- TAKIKAWA瀧川
- TSURUGA鶴賀
- TOKYOKEISO東京計裝
- SEN日森
- KASUGA春日電機
- COSMOS新宇宙
- SR三木工廠
- TKD武田
- NIPPON-MR繩索
- MARUYAMA丸山
- KASHIYAMA柏山工業(yè)
- SHOWA昭和
- ONOSOKKI小野
- TSUBAKI椿本
- THK軸承
- TORAY東麗
- NITTO日東
- FUJI-US富士
- MEISEI日本明星
- KOMYOKK光明理化
- HOYA豪雅
- SAGINOMIYA日本鷺宮
- NS日本精密
- TAISEI大生
- KETT凱特
- KAIJO凱捷
- KRK笠原理化
- LIGHTEST
- AITEC艾泰克
- KITZ北澤
- ONOSOKKI小野傳感器
- SAKAGUCHI坂口電熱加...
- KOYO光陽
- LUBE泵閥
- KURABO久保田脫泡機
- MCRL村上分光測色儀
- NIPPONMUKI無機過濾...
- ORC歐阿希照度計
- USHIO牛尾UV燈
- SAKURAI櫻井打印紙
- KEYENCE基恩士
- LUCEO魯機歐應力儀
- SANEI三榮電機
- NPM日脈電機馬達
- NBK鍋屋工裝夾具
- AKRIBIS雅克貝斯精密平...
- COSMO科斯莫檢漏儀
- SAMJUNG禪才離子風棒
- SUMITA住田光纖
- HAYASHI林時計光纖光源
- METROL美德龍
- VALQUA華爾卡配管部品
- CHINO千野溫濕度計
- HIKARIYA光屋檢查燈
- HEIDON新東攪拌機
- SOLAX/SERIC索納克...
- SANKO山高膜厚計
- ITOH伊藤粉碎機
- NEWKON新光針孔機
- ONOSOKKI小野編碼器
- ELMEX安科生物涂抹棒
- AxoScan美國
- MITSUI ELECTRI...
- FUJICOM富士
- HAYASHI林時計
- Navitar納維塔爾鏡頭
- KANETEC強力脫磁裝置
- NPM日本脈沖電機
- YUASA尤阿薩折彎機
- UNILAM優(yōu)尼光紫外燈
- POLARION普拉瑞探照燈
- AND艾安得
- JIKCO吉高濃度計
- IIJIMA飯島酸素計
- SPAIR日信工具
- Axometrics美國
- ASAHI旭精工
- DSK電通熒光燈
- DNL**燈
- ORIHARA折原應力儀
- NIKKATO日陶研磨球
- NDK日本電色霧度計
- DRY-CABI德瑞卡比防潮...
日本半導體材料的神話與現(xiàn)實
2021年6月,日本眾議院召開了一場主題為“復興日本半導體產業(yè)”的研討會,時值在疫情中遭遇重創(chuàng)的鎧俠半導體(即東芝存儲芯片部門)四處尋找接盤俠,日本存儲芯片*后的火種奄奄一息,日本官方邀請了五位專家學者暢所欲言,為產業(yè)復興出謀劃策,**發(fā)言的是一個名叫湯之上隆的人。
湯之上隆曾任職于日立、爾必達的一線研發(fā)部門,親歷了日本半導體產業(yè)從輝煌走向沒落的整個過程。
2015年,他將自己的經歷與思考寫進了《失去的制造業(yè)》一書,拋開其中對老東家和老領導的冷嘲熱諷,《失去的制造業(yè)》堪稱研究日本芯片產業(yè)的必讀書目。
相比日本官方高舉復興大旗,湯之上隆在研討會上建議大家以*快的速度躺平,讓在場議員們大跌眼鏡:“失去的半導體產業(yè)已無法挽回,繼續(xù)投入就是浪費納稅人的錢。”
他認為,由于日本的半導體公司一直難以適應產業(yè)變化,早已錯失歷史機遇;如今與其瞎折騰,不如守護好*后一點家底:位于半導體產業(yè)鏈*上游的設備與材料[1]。
一塊芯片封裝前,會經歷薄膜沉淀、光刻、蝕刻、清洗等多項工藝,每一步都需要特定的加工設備與原材料。過去數(shù)十年,日本企業(yè)一直是部分半導體設備的主要提供商。
而日本公司對半導體材料近乎壟斷的地位更是威名在外:前段工序常用的材料有19種,其中14種都由日本企業(yè)主導。
2019年7月,隨著日韓矛盾加劇,日本政府對韓國企業(yè)發(fā)起制裁,限制半導體核心材料的出口。鐵錘剛砸下三天,三星掌門李在镕如坐針氈,專程趕赴日本懇求松口。
后來眾議員的研討會結束不久,湯之上隆就寫了篇文章,標題叫“日本半導體設備和材料為何那么強?”,自豪之情溢于言表[2]。
極其夸張的市場份額
結果文章發(fā)出去沒多久,日本就吃了一場敗仗。2021年,韓國的SEMES強勢崛起,超越日本企業(yè)SCREEN成為全球第六大半導體設備公司,其母公司正是在材料上被卡的翻白眼的三星。同一時期,三星一口氣投資了十幾家材料公司,希望在材料環(huán)節(jié)繞開日本。
另一個有趣的現(xiàn)象是,相比輿論對日本半導體材料壟斷地位的艷羨,以及日本在化學、材料學等領域長期耕耘的贊譽,日本產業(yè)界卻對這一成就評價復雜:
湯之上隆一邊高度認可材料環(huán)節(jié)的強勢地位,但一邊稱日本對韓國的斷供“極其愚蠢”。另一位學者西村吉雄則在《日本電子產業(yè)興衰錄》中說,日本芯片產業(yè)衰落的原因之一,就是做了太多基礎研究,反而忽視了應用和模式層面的**。
日本的半導體材料常常是一個被輿論神化的產業(yè),它實際上并不復雜,但也沒有那么簡單。
卡脖子
對韓國芯片公司而言,日本的貿易制裁,其威力不亞于往京畿道工廠丟一顆炸彈。
被限制出口的半導體材料共有三種,首當其沖的是氟化聚酰亞胺。這個念起來有些費嘴的化學物質,是部分OLED面板的原材料。一旦掐斷供給,OLED電視等拳頭產品將面臨無貨可出的窘境。
但對三星等韓企來說,更棘手的其實是另外兩件“戰(zhàn)略核武器”。
**件是EUV光刻膠,打擊目標是韓國半導體的“未來”。
光刻膠是光刻工藝的關鍵材料,而光刻又是芯片制造的核心工藝。目前*先進的光刻工藝是EUV(極紫外線),用于生產7nm以及更先進制程的芯片。
過去幾年,三星一直在努力迭代自研的手機處理器Exynos,即便三星自己擁有7nm和5nm制程工藝,但也繞不開光刻膠這一環(huán)。此時,作為原材料的光刻膠遭到制裁,本就不富裕的日子變得更加雪上加霜。
另外,三星、SK海力士對下一代DRAM的研發(fā)也將被迫暫停。當前,市場上的DRAM產品仍在努力逼近10nm制程,尚且用不上EUV光刻這樣的先進技術;但未來DRAM的制程大概率會提升至5nm,這便踏進了EUV光刻的領域。
EUV光刻
相比之下,**把利器殺傷力更甚。這款名叫高純度氟化氫的材料,足以扼住韓國半導體的“現(xiàn)在”。
氟化氫是一種清洗用的化學材料。清洗工藝能夠去除芯片生產所帶來的雜質,是影響芯片品質的關鍵環(huán)節(jié)。生產一款芯片大概需要500至1000個步驟,其中大約10%的步驟都得用到氟化氫進行清洗,堪稱是半導體的“血液”。
一旦氟化氫庫存告急,邏輯半導體(如CPU)、DRAM等主流半導體芯片均無法生產,能否開展日常業(yè)務都將打上一個問號[7]。
面對日本的咄咄逼人,危機感爆棚的韓國人使出了渾身解數(shù),先是跑去WTO伸冤打官司,與此同時,政府牽頭大搞國產替代,一口氣投入了6萬億韓元的預算,三星也跟著投資了一批韓國本土的半導體材料企業(yè)。
在“打倒日本帝國主義”的號召下,同仇敵愾的韓國企業(yè)成功研發(fā)出了國產版本的高純度氟化氫和EUV光刻膠。文在寅卸任前的新年致辭中,曾重點提及了上述成就。
文在寅視察韓國產氟化氫
然而,故事的走向卻沒有發(fā)生太多逆轉:直到如今,日本依舊高度壟斷著高純度氟化氫和EUV光刻膠。
其地位之所以屹立不倒,和上述半導體材料的一大特質有關:日本壟斷的材料,多是不能即插即用的非標準化產品。
其中氟化氫尤為典型——清洗并不是一項標準化的工藝,每個制造商都有各自的理解和流程。因此,關于氟化氫的使用,實際上有稀釋、與氯化氫混合、與過氧化氫混合等多種完全不同的方案。而每種方案對氟化氫產品的要求又不太一樣,均需要專門定制。
另一方面,大多數(shù)產品的理論原理和工藝技術都是公開的,但選材與配比的數(shù)值,甚至生產車間合適的溫度和濕度,都需要漫長的實驗才能得到*佳結果。材料的非標特質,會帶來兩方面影響:
(1)企業(yè)難以輕易更換解決方案以及相關供應商,一旦合作就是長期綁定。
在這方面,日本自己就吃過虧。1999年,日立和NEC兩家龍頭企業(yè)合資成立了存儲企業(yè)爾必達,準備向領跑的三星發(fā)起進攻。但在公司成立的頭兩年,卻爆發(fā)了嚴重的生產問題,市場份額也迅速下跌,而“罪魁禍首”之一正是日立和NEC的清洗方案不兼容。
因此,哪怕韓國企業(yè)自研出了高純度氟化氫,依舊不能立刻擺脫日企的壟斷,*快也需要至少1年時間做測試;而EUV光刻膠的更換周期則更久,通常需要測試2-3年才能搬上產線。
“有國產材料”和“用國產材料”,實際上是兩件事。
氟化氫
(2)非標材料的制造工藝多且繁雜,甚至存在部分只可意會不可言傳的隱性知識,需要企業(yè)有長期相關的積累。在這方面,向來以“匠人精神”自居、發(fā)力較早的日本同樣有先天優(yōu)勢。
正如湯之上隆在書中寫道:日本半導體材料的競爭力核心,正是日本獨特的匠人文化。
不可否認,這種“一生做好一件事”的匠人文化,確實在氟化氫這類具備延續(xù)性的領域頗有成效。氟化氫技術的迭代,本質是不斷提升純度,將小數(shù)點后面的9越做越多的過程,主打一個精益求精。
韓國雖實現(xiàn)了氟化氫的國產化,但其純度只有99.99999999%(小數(shù)點后8個9),日本企業(yè)卻能做到小數(shù)點后10個9??瓷先ハ嗖顭o幾,但如果乘上幾十上百道工序,*終結果會千差萬別。
但問題是,難道隔了個日本海,匠人文化就失傳了嗎?日本半導體材料的強勢,顯然不能只用文化來解釋。