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ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵 通過低溫區(qū)域的泵體均熱化，在PVD工藝之外，尤其適于那些為了提高產(chǎn)能而需要縮短排氣時(shí)間的重要的備料下料室排氣的一款泵。 查看詳情
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