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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：日本FUJI-US富士工業(yè)多組分濃度計(jì)

  • 產(chǎn)品型號(hào)： FUD-1 型號(hào)-53
  • 產(chǎn)品廠商：FUJI-US富士工業(yè)
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
在保持FUD-1 Model-53的可維護(hù)性和高精度在線測(cè)量等優(yōu)點(diǎn)的同時(shí)，該型號(hào)還具有用于半導(dǎo)體制造工藝的小型電池發(fā)射器。
詳情介紹：


日本FUJI-US富士工業(yè)多組分濃度計(jì) FUD-1 型號(hào)-53




多組分濃度計(jì)的特點(diǎn)

可實(shí)現(xiàn)3個(gè)組分的實(shí)時(shí)雙組分濃度計(jì)側(cè)

  • 標(biāo)配模擬DC4~20mA（2個(gè)系統(tǒng)）和數(shù)字RS232C
  • 測(cè)量誤差輸出和報(bào)警輸出為標(biāo)準(zhǔn)設(shè)備
  • 標(biāo)配自診斷功能和錯(cuò)誤信息顯示
  • 緊湊輕便的電池變送器可直接安裝在生產(chǎn)線上
  • PFA接液部件材料，小輸出設(shè)計(jì)對(duì)化學(xué)液體沒有影響。

優(yōu)點(diǎn)

  • 實(shí)現(xiàn)高精度的連續(xù)測(cè)量
  • 無需定期調(diào)整或校準(zhǔn)，免維護(hù)
  • 安裝簡單，安裝時(shí)無需進(jìn)行各種調(diào)整
  • 實(shí)時(shí)輸出，便于反饋到過程

用

  • 控制CMP工藝中的CMP漿料和氧化劑濃度等
  • 控制清洗過程中的清洗液濃度等（HF+HNO3、HF+H2SiF6等）
  • 蝕刻過程中的蝕刻液濃度控制等（TMAH + 抗蝕劑、TMAH + Si等）



規(guī)范

型 FUD-1 型號(hào)-53
轉(zhuǎn)爐
測(cè)量參數(shù) 超聲波傳播速度、溫度、電導(dǎo)率
指示 LCD（濃度1，濃度2，溫度，聲速，電導(dǎo)率/各種參數(shù)）
輸出信號(hào) 模擬DC4~20mA：2個(gè)系統(tǒng)（可自由設(shè)置濃度值） 數(shù)字RS232C（濃度1，濃度2，聲速，溫度，電導(dǎo)率，錯(cuò)誤代碼）

報(bào)警上限和下限 測(cè)量異常：2個(gè)系統(tǒng)
權(quán)力 AC100V~240V 50/60Hz 30VA （也可使用DC24V）
結(jié)構(gòu) 面板安裝（符合 DIN 標(biāo)準(zhǔn)）
環(huán)境溫度變送器 0~50°C
相對(duì)濕度 85% 或更低（無冷凝）
功能 輸出范圍設(shè)置功能、報(bào)警輸出設(shè)置功能、濃度顯示移動(dòng)平均功能、濃度顯示偏移和增益設(shè)置功能、自診斷功能、故障**功能、異常值消除功能、溫度時(shí)間常數(shù)校正
選擇 溫度輸出（DC4~20mA）RS485輸出（不能與RS232C同時(shí)輸出）
通道（校準(zhǔn)曲線） *多 7 路
兼容變送器示例 SA-20S29+ 電導(dǎo)率儀， SA-20S27+ 電導(dǎo)率儀


型 發(fā)射機(jī)
SA-20S29+ 電導(dǎo)率儀
 SA-20S27+ 電導(dǎo)率儀
振動(dòng)元件 PZT（2MHz）x1 PZT（2MHz）x2
測(cè)量元件 熱敏電阻 熱敏電阻
測(cè)量的流體溫度 0~100°C 0~80°C
結(jié)構(gòu) 流 流
接液部件材料 全氟辛烷磺酸/全氟辛烷磺酸涂層 聚苯乙烯
擬 合 3/4 接頭（可更換） 3/4 接頭（可更換）
壓力 0.3兆帕 0.3兆帕
 流量 5升/分鐘（推薦） 5升/分鐘（推薦）
 重量 2.5公斤 2.5公斤
電纜 專用電纜 6m 專用電纜 6m
環(huán)境溫度 5~45°C  5～45℃





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