通用橢圓儀系統(tǒng)可用于測(cè)量玻璃上薄膜的厚度、折射率、各向異性和排列方向。

由于 AxoScan 的高測(cè)量速度（每個(gè) Mueller 矩陣僅 0.03 秒），它能夠執(zhí)行一些其他橢圓儀無(wú)法執(zhí)行的橢圓測(cè)量。特別是，當(dāng)必須測(cè)試大型基板上的大量位置以減少節(jié)拍時(shí)間時(shí)，會(huì)使用 AxoScan。由于其全 Mueller 矩陣測(cè)量能力，AxoScan 在測(cè)量需要廣義橢圓偏振法而不是標(biāo)準(zhǔn)橢圓偏振法的各向異性薄膜時(shí)也很有用。

所有 Axometrics 生產(chǎn)系統(tǒng)的構(gòu)建均符合每個(gè)客戶的工廠通用規(guī)格，通常包括額外的子系統(tǒng)，例如起重器、電離棒、機(jī)械和光學(xué)測(cè)量、**聯(lián)鎖裝置、地震分析和約束，以及用于自動(dòng)化的完整 CIM 軟件控制生產(chǎn)測(cè)量和機(jī)器人樣品裝載。

常見(jiàn)的系統(tǒng)尺寸包括：

第 4 代 / 4.5 母玻璃

Gen 5 / 5.5 母玻璃

第 6 代母玻璃

第 8 代 / 8.5 母玻璃

VVRM 系統(tǒng)是一種高速 AxoScan 橢偏儀系統(tǒng)，能夠測(cè)量大型玻璃基板上的薄膜厚度。因?yàn)檗D(zhuǎn)塔包括傾斜和旋轉(zhuǎn)功能，并且因?yàn)?AxoScan 測(cè)量整個(gè) Mueller 矩陣，所以該系統(tǒng)特別適合測(cè)量各向異性薄膜。該系統(tǒng)*常見(jiàn)的用途是測(cè)量用作 LCD 面板對(duì)準(zhǔn)層的摩擦或光對(duì)準(zhǔn) PI（聚酰亞胺）的對(duì)準(zhǔn)方向、相對(duì)各向異性和厚度。