特征

• 01. 1臺即可實(shí)現(xiàn)全封閉、電導(dǎo)調(diào)整。
• 02.可從差壓狀態(tài)（真空-大氣壓）開啟。
• 03.由于采用電機(jī)直接驅(qū)動機(jī)構(gòu)和高精度減速機(jī)，位置精度的再現(xiàn)性**。
• 04. 根據(jù)控制方式，可以進(jìn)行開度調(diào)整、速度調(diào)整等各種動作模式。
• 05.適用于高流量排氣，耐久性優(yōu)異。
• 06.可通過角度顯示指示器從外部檢查圓盤的位置。
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規(guī)格

口徑	25A 至 250A
泄漏量	1×10 -9 Pa?m 3 /s以下
使用面積	10 5至 10 -5 帕
圓盤密封	氟橡膠O型圈
軸封	氟橡膠O型圈
接液部分材料	SUS304
指標(biāo)	帶角度外顯指示器
驅(qū)動系統(tǒng)	交流伺服電機(jī)（三菱電機(jī)MR-J4系列）
選項(xiàng)	打開/關(guān)閉檢測光電傳感器

*我們也可以生產(chǎn)特殊規(guī)格的產(chǎn)品。

*盤封和軸封的標(biāo)準(zhǔn)材質(zhì)為氟橡膠，但也可根據(jù)用途選擇其他材料。

**大速度設(shè)置由閥門決定。

* 請選擇符合規(guī)格的伺服放大器。

*由于改進(jìn)，本規(guī)格如有更改，恕不另行通知。