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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：TOKYOKEISO東京計裝超聲波流量計
產(chǎn)品型號：UCUF-06E
產(chǎn)品廠商：TOKYOKEISO東京計裝
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簡單介紹：

詳情介紹：

UCUF-E系列液體超聲波流量計是專為超純水和各種化學品的小流量測量而設(shè)計的流量計，由UCUF-E檢測器和SFC傳感器組成。
UCUF探測器的所有接液部件均由半導體行業(yè)的PFA組成，沒有容易積液的
運動部件和O形圈等機械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計非常適合需要高度清潔的過程，例如半導體設(shè)備。
SFC傳感器大大降低了流體中所含氣泡的影響，這在半導體工藝、化學溶液等方面一直是一個問題。它配備了校正功能，可消除流體運動粘度的影響，以響應(yīng)各種化學溶液。通過RS485通信功能可實現(xiàn)集中過程管理。

特征

· EMC合規(guī)標準：EN61326-1：2013 / EN61326-2-3：2013
· 符合 RoHS 標準
· 帶連接器結(jié)構(gòu)的可拆卸傳感器電纜
· 測量高達 40 mm2/s 的高粘度流體
· 精度在指示值的 ±1% 以內(nèi)（流速為 1 m/s 或更高時）
· 寬范圍（典型值為 100：1）
· 理想的清潔結(jié)構(gòu)檢測器
· 耐腐蝕，易于安裝

主要用途

· 半導體制造過程中純水和超純水的流量測量
· 各種化學品注入過程的流量測量
· 高腐蝕性液體的流量測量
· CMP 漿料流量測量
· 其他小~中徑過程液體流量測量
· 適用于清潔設(shè)備和CMP設(shè)備的流量測量和控制

主要規(guī)格

探測器規(guī)格

格式	UCUF-04E/06E
測量對象	一般液體（沒有氣泡的液體，混合物必須均勻溶解）
流量范圍	04E： 0 ~ 50毫升/分鐘（小值） 0 ~ 3000毫升/分鐘（大值） 06E： 0 ~ 400毫升/分鐘（小值） 0 ~ 8000毫升/分鐘（大值）
流體聲速	1000 ~ 2200米/秒
流體運動粘度	0.3 ~ 40毫米2/秒
流體溫度	+10 ~ 60°C
流體壓力	0 ~ 0.5MPa
材料	閥體（接液部件）材料：新型PFA（不含PFOA）傳感器/電纜帽材料：PP蓋密封材料：氟橡膠
過程連接	PFA 管端

兼容的變送器

格式	SFC3000
輸入	傳感器信號：專用電纜（BNC 連接器）
脈沖輸出	可選頻率脈沖輸出、集成脈沖輸出或故障輸出集電極開路額定負載：DC30V，15mA 以內(nèi) ?頻率脈沖輸出占空比： 1 ： 1 脈搏率： 0 ~ 1000Hz （滿量程） ?集成脈沖輸出單元：×0.1mL、×1mL、×10mL、×1L 脈沖寬度：0.5毫秒、50毫秒、100毫秒 ?故障輸出（傳感器或檢測器異常時的輸出）常開，常閉可選
電流輸出	DC4~20mA負載電阻：500Ω以內(nèi)
低截止值	0 ~ 25% F.S
通信	內(nèi)置RS485通訊協(xié)議：MODBUS*多可連接32臺設(shè)備
權(quán)力	直流24V±10%
結(jié)構(gòu)	IP20 （室內(nèi)）
建立	導軌安裝