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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱(chēng)：TOKYOKEISO東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào)：UCUF-20K
產(chǎn)品廠商：TOKYOKEISO東京計(jì)裝
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

詳情介紹：

UCUF-K系列液體超聲波流量計(jì)是專(zhuān)為超純水和各種化學(xué)品的小流量測(cè)量而設(shè)計(jì)的流量計(jì)，由UCUF-K檢測(cè)器和SFC傳感器組成。 UCUF探測(cè)器的所有接液部件均由半導(dǎo)體行業(yè)的PFA組成，沒(méi)有容易積液的運(yùn)動(dòng)部件和O形圈等機(jī)械密封。由于其理想的清潔結(jié)構(gòu)，該流量計(jì)非常適合需要高度清潔的過(guò)程，例如半導(dǎo)體設(shè)備。

長(zhǎng)處

· EMC合規(guī)標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1：2013 / EN61326-2-3：2013
· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
· 測(cè)量運(yùn)動(dòng)粘度高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體
· 精度在指示值的 ±1% 以?xún)?nèi)（流速為 1 m/s 或更高時(shí)）
· 寬范圍（典型值為 100：1）
· 理想的清潔結(jié)構(gòu)檢測(cè)器
· 耐腐蝕，易于安裝

主要用途

· 半導(dǎo)體制造過(guò)程中純水和超純水的流量測(cè)量
· 各種化學(xué)品注入過(guò)程的流量測(cè)量
· 高腐蝕性液體的流量測(cè)量
· CMP 漿料流量測(cè)量
· 其他小~中徑過(guò)程液體流量測(cè)量
· 適用于清潔設(shè)備和CMP設(shè)備的流量測(cè)量和控制

主要規(guī)格

探測(cè)器規(guī)格

口徑	4毫米、6毫米、10毫米、15毫米、20毫米
測(cè)量對(duì)象	一般液體（沒(méi)有氣泡的液體，混合物必須均勻溶解）
流量范圍	?。?0 ~ 0.8 升/分鐘（04K），大： 18.8 ~ 80 升/分鐘（20K）
流體聲速	1000 ~ 2200 米/秒
流體運(yùn)動(dòng)粘度	0.3 ~ 40毫米2/秒
流體溫度	+10 ~ +60°C
流體壓力	0 ~ 0.5兆帕（G）
接液部件材料	新的PFA
過(guò)程連接	PFA 管端