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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：TOKYOKEISO東京計(jì)裝超聲波流量計(jì)
產(chǎn)品型號(hào)：UCUF-02M
產(chǎn)品廠商：TOKYOKEISO東京計(jì)裝
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簡(jiǎn)單介紹：

詳情介紹：

UCUF-02M/SFC-010L是一款用于液體的超聲波流量計(jì)。可高精度測(cè)量純水、超純水、各種化學(xué)溶液等的微小流量。測(cè)量管道的直徑為2.5 mm，涵蓋了傳統(tǒng)UCUF超聲波流量計(jì)難以測(cè)量的微小流量范圍。所有接液部件均由半導(dǎo)體行業(yè)的PFA組成，具有理想的清潔結(jié)構(gòu)，沒(méi)有移動(dòng)部件，也沒(méi)有容易積液的密封部件，使其成為半導(dǎo)體制造設(shè)備等需要清潔的工藝的理想選擇。流量計(jì)的入口和出口部分是標(biāo)準(zhǔn)尺寸的管子，可以連接到各種PFA配件。

特征

· 這種小直徑
超聲波流量計(jì)成功地測(cè)量了超聲波在內(nèi)徑φ2.5 mm的管道中的傳播，這是難以測(cè)量超聲波傳播的。
· 微量*小
滿量程設(shè)置范圍：0 ~ 10 mL/min
· EMC符合標(biāo)準(zhǔn)：EN61326-1
· 符合 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)
· 測(cè)量高達(dá) 40 mm2/s 的高粘度流體
· 理想的清潔結(jié)構(gòu)檢測(cè)器
· 耐腐蝕，易于安裝
· 精度：在指示值的 ±1% 以內(nèi)（流速為 25 mL/min 或更高時(shí)）

主要用途

· 半導(dǎo)體制造過(guò)程中純水和超純水的流量測(cè)量
· 各種化學(xué)品注入過(guò)程的流量測(cè)量
· 高腐蝕性液體的流量測(cè)量
· CMP 漿料流量測(cè)量
· 其他，小~中直徑過(guò)程液體流量測(cè)量
· 適用于清潔設(shè)備和CMP設(shè)備的流量測(cè)量和控制

主要規(guī)格

探測(cè)器規(guī)格

格式	UCUF-02M
流體	一般液體（不含氣泡和PFA的液體可滲透或侵蝕）
流量	大 0 ~ 100 毫升/分鐘小 0 ~ 10 毫升/分鐘 *滿量程設(shè)置為 10 毫升/分鐘步進(jìn)
精度	±1% RD（25毫升/分鐘或更高） ±0.25毫升/分鐘（小于25毫升/分鐘） *沖洗20°C的水時(shí)。
溫度	10 ~ 90°C
壓力	0 ~ 0.5 兆帕
連接直徑	1/4“ PFA 管端
材料	聚苯乙烯
結(jié)構(gòu)	IP65 （室內(nèi)）
電纜	5米（典型值）

轉(zhuǎn)換器規(guī)格

格式	SFC-010L
顯示	4 位 LED，瞬時(shí)流速（毫升/分鐘）
輸出	1）電流輸出： DC4-20 mA（負(fù)載電阻500 Ω以下） 2）頻率輸出：集電極開(kāi)路脈沖負(fù)載額定值：DC 30 V，10 mA 0 ~ 1000 Hz 3）報(bào)警輸出：集電極開(kāi)路（2點(diǎn)）額定負(fù)載：DC 30V，10mA
權(quán)力	直流 24 V ±10 %
結(jié)構(gòu)	IP20 （室內(nèi)）
安裝	導(dǎo)軌安裝