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產品詳情

  • 產品名稱：TOKYOKEISO熱式質量流量計

  • 產品型號：TC-1550
  • 產品廠商：TOKYOKEISO東京計裝
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
詳情介紹：

TC-1000/2000 是一款質量流量控制器，將氣體熱質量流量計與控制閥相結合。 有用于一般用途的TC-1000和用于高壓的TC-2000。 不受壓力和溫度變化影響的質量流量測量，以高精度控制各種氣體的流量。



特征

  • · 確保各種氣體的恒定流速
  • · 兩種氣體與質量流量計一起按比例混合
  • · 各種半導體制造工藝
  • · 適用于各種分析儀器
  • · 腐蝕性氣體管路的流量控制
  • · 用于新材料和器件的研發(fā)

主要規(guī)格

TC-1000 高壓 TC-2000
測量流體 一般氣體
流體壓力 *大 0.99 MPa *大 10 MPa
流量范圍 *小 0~5毫升/分鐘（挪威） *大 0~500升/分鐘（挪威）
 *小 0~50毫升/分鐘（挪威） *大 0~100升/分鐘（挪威）
流量控制范圍 滿量程的2~100%
控制壓差范圍 小流量 TC-1100 ： 0.06~0.3 Mpa 大流量 TC-1550 ： 0.18~0.5 Mpa

（詳情請參閱
技術指南。 ) 		1MPa范圍在一次壓力
的50~80%以內（詳
見技術指南） )
流體溫度 5~50°C
精度 1% F.S. （25°C 基底）
反應 3秒內（98%）
材料 SUS316， SHOMAX 或 SUS430， 聚四氟乙烯， 氟橡膠或 CR
過程連接 Rc1/4， 3/8， 1/2， 3/4， 1 螺釘， OD1/4， 3/8 SW， VCR， VCO 等
權力 直流 +15V 25mA 直流 -15V 320mA
外設 TM-1400 微型轉換器單元


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