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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：IWAKI易威奇CFD系列全氟化學(xué)液補(bǔ)充系統(tǒng)

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CFD-8T
  • 產(chǎn)品廠商：IWAKI易威奇
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
北崎熱賣IWAKI易威奇
詳情介紹：


高分辨率

*小流量達(dá)1mL/shot，為晶圓清洗過(guò)程中所需的化學(xué)凝結(jié)控制，提供更高的準(zhǔn)確性。CFD系列能提供準(zhǔn)確流量，防止過(guò)量添加或液體浪費(fèi)。此外，防虹吸設(shè)計(jì)防止意外吸入。


耐腐蝕過(guò)流端

氟材質(zhì)口過(guò)流端(PTFE / PFA / PCTFE)是能夠處理半導(dǎo)體加工所用的強(qiáng)酸、強(qiáng)堿和雙氧水。針對(duì)化學(xué)腐蝕，PTFE / PFA / PP / PVC材質(zhì)外部零件和PTFE涂層螺絲能提供額外的保護(hù)。


寬廣的吐出率調(diào)節(jié)

打開底蓋可輕松在1.0-2.7ml/shot之間調(diào)節(jié)沖程長(zhǎng)度 (出廠默認(rèn)設(shè)定是1.0ml/shot)。


配備泄漏傳感器

每臺(tái)泵都配有泄漏傳感器，可實(shí)時(shí)檢測(cè)任何泄漏情況



規(guī)格

*大吐出量

1 mL/shot

*大吐出壓力

0.05 MPa

*大沖程率

30 spm

主要材質(zhì)

PTFE, PFA, PCTFE

液體輸送溫度范圍

20 ~ 60 °C

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