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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱(chēng)：SATOVAC佐藤真空真空沉積設(shè)備<HSV>系列

  • 產(chǎn)品型號(hào)：HSV-12-80
  • 產(chǎn)品廠商：SATOVAC 佐藤真空
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
北崎熱銷(xiāo)SATOVAC 佐藤真空
詳情介紹：

本系列為研發(fā)和小批量生產(chǎn)的電阻加熱型緊湊型氣相沉積設(shè)備。 此外，該系列的某些型號(hào)可以配備電子束（EB）。

真空蒸著裝置
真空蒸著裝置
真空蒸著裝置

主仕様

型　　式 HSV-3-30G HSV-8-50 HSV-12-80
到達(dá)圧力 ×10-3Pa ×10-4Pa
基板加熱溫度 - Max 300℃
蒸発源（電極） 2対 10V Max150A 2対 20V Max200A
バルブ操作 手動(dòng) 自動(dòng) 手動(dòng) 自動(dòng) 手動(dòng)
真空槽 φ300×H300mm
透明ガラス 		φ500×H500mm（水冷式）
SUS 304 		φ800×H700mm（水冷式）/前扉式
SUS 304
回転機(jī)構(gòu) - 公転機(jī)構(gòu) 自公転機(jī)構(gòu)
內(nèi)部機(jī)構(gòu) シャッター機(jī)構(gòu)、抵抗加熱機(jī)構(gòu) シャッター機(jī)構(gòu)，加熱ヒーター,抵抗加熱機(jī)構(gòu)
主ポンプ 油拡散3inches 油拡散8inches 油拡散12inches又はクライオ
補(bǔ)助ポンプ 150L/min 500L/min 1500L/min
主バルブ 3inches 8inches 12inches


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