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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱(chēng)：SATOVAC佐藤真空緊湊型CVD設(shè)備<SFCV>系列
產(chǎn)品型號(hào)：SFCV-1001
產(chǎn)品廠商：SATOVAC 佐藤真空
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

北崎熱銷(xiāo)SATOVAC 佐藤真空

詳情介紹：

這是一種管式高溫?zé)酑VD裝置，適用于大學(xué)和研究機(jī)構(gòu)開(kāi)發(fā)石墨烯等烴類(lèi)化合物的各種材料。它已經(jīng)小型化，因此可以通過(guò)簡(jiǎn)單的操作制造小批量和小型試件，同時(shí)實(shí)現(xiàn)了顯著的成本降低。
此外，它還配備了5~100Pa的壓力控制功能，這是小尺寸難以實(shí)現(xiàn)的，因此可以支持更廣泛的加工模式。對(duì)于Sarako碳?xì)浠衔锵到y(tǒng)的易燃?xì)怏w，我們配備了**裝置，例如通過(guò)警報(bào)檢測(cè)和大氣排放氣體稀釋裝置關(guān)閉設(shè)備。

主要規(guī)格

爐芯管	透明石英管（加熱溫度100~1000°C）
爐芯管	氧化鋁管（加熱溫度1000~1400°C）
反應(yīng)氣體供應(yīng)	2~60sccm（氫氣、甲烷、乙烷、工業(yè)苯乙烯、乙炔、苯等）
壓力控制	5~100Pa
防止易燃?xì)怏w排放到大氣中的措施	通過(guò)噴射器用低于易燃混合范圍的空氣稀釋的廢氣

設(shè)備配置

型			SFCV-1001	SFCV-1003	SFCV-1501
管式爐	爐芯管	材料	透明石英管		氧化鋁管
	爐芯管	鉆	φ24毫米、φ50毫米		φ24毫米
	加熱溫度	習(xí)慣性使用	100~1000°C		500~1400°C
	加熱溫度	麥克斯	1150°C		1500°C
	加熱面積		1 個(gè)區(qū)域	3 個(gè)區(qū)域	1 個(gè)區(qū)域
	加熱器容量		1.0千瓦	2.4千瓦	1.2千瓦
真空抽真空	油旋轉(zhuǎn)真空泵		抽速：100~150升/分
供氣	質(zhì)量流量控制器		流量：10~100sccm
供氣	氣管流量計(jì)		流量：10~100sccm
氣體稀釋	空氣噴射器		風(fēng)量：15N升/分鐘
真空計(jì)	壓力控制		電容壓力計(jì)：0.133~1330Pa，100Pa~133kPa
真空計(jì)	大氣減壓		數(shù)字耦合：-100kPa~+100kPa
控制	溫度控制		程序控制
控制	壓力控制		閥門(mén)開(kāi)/關(guān)控制
操作面板			設(shè)備開(kāi)關(guān)、程序溫度控制器、真空計(jì) 顯示：溫度、真空度、操作設(shè)備開(kāi)/關(guān)、報(bào)警、電源
權(quán)力	單相的		100V?30A	100V?50A	200V?20A
外部尺寸	寬×深×高		1450×500×1200毫米
質(zhì)量			125公斤	134公斤	128公斤