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- NDK日本電色霧度計(jì)
- DRY-CABI德瑞卡比防潮...
產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
北崎熱銷SATOVAC 佐藤真空
詳情介紹：
緊湊的高性能輥涂機(jī)，適合研發(fā)和小批量生產(chǎn)。 有等離子體處理、濺射和氣相沉積裝置。
主要規(guī)格
| 極限壓力 | ×10\u5 Pa |
|---|---|
| 真空計(jì) | BA壓力計(jì)，電容壓力計(jì) |
| 工件尺寸 | 寬100毫米×長(zhǎng)200米×噸 50~100微米 |
| 進(jìn)給率 | 0.2~4米/分鐘（連續(xù)/CCW可能） |
| 真空室 | 不銹鋼304 寬500×高850×深450mm |
| 玉米卷 | φ250水冷 |
| 軸封 | 使用磁性密封件 |
| 預(yù)沉積等離子體處理 | 13.56MHz 射頻電極 ×1 |
| 蒸發(fā)源 |
（1） 70×200 直流磁控管型，*高 × 2 （2） 電阻蒸發(fā)源 |
| 主泵 | TMP 1100L/s |
| 排濕 | 克里奧超級(jí)陷阱 |
| 工藝氣體 | Ar ， O 2 ， N2 ， 質(zhì)量流量控制器 |
| 面積 | 4㎡ |
| 效用 | ?AC200V 3φ 100A ?冷卻水 |
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