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產品詳情

  • 產品名稱：SHINKUU日本真空設備靶材濺射涂層設備

  • 產品型號：MSP-mini
  • 產品廠商：SHINKUU真空設備
  • 產品文檔：
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簡單介紹：
該裝置是帶有磁控管目標的金屬涂層裝置。 它用于用光學顯微鏡觀察透明材料的表面（銀靶）或用電子顯微鏡處理少量導電膜（金/銀靶）的樣品。
詳情介紹：

只需按一下按鈕即可自動涂布。 根本沒有煩人的操作。 高性價比的機器。 它是MSP-1S的弟弟。
采用小目標（φ30mm）。 運行成本低。 標配金靶標。 對桌面掃描電鏡的預處理有效。
可選的目標 Ag 膜具有出色的光澤度，便于對透明材料表面進行光學顯微觀察。
總結
該裝置是帶有磁控管目標的金屬涂層裝置。 它用于用光學顯微鏡觀察透明材料的表面（銀靶）或用電子顯微鏡處理少量導電膜（金/銀靶）的樣品。

主要產品規(guī)格

項目 規(guī)范
權力 AC100V，10A 3芯插頭，帶地線
設備大小 寬度 180 mm， 深度 270 mm， 高度 183 mm
（設備重量 4.2 Kg）
旋轉泵 抽速 5 l/min （G-5DA）
（泵重 5.5Kg）
試樣室尺寸 內徑 86 mm，高度 60 mm（硬玻璃）
試樣載物臺尺寸 Φ83毫米
試樣尺寸 有效直徑Φ30mm，高度20mm以下
目標 Φ30mm磁控管電極
Au（標配），可選（Ag）
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