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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：SHINKUU日本真空設(shè)備鉑金屬涂層裝置

  • 產(chǎn)品型號(hào)：MSP-8
  • 產(chǎn)品廠商：SHINKUU真空設(shè)備
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
該裝置是帶有磁控管目標(biāo)的金屬涂層裝置。 它用于 8 英寸晶圓等大面積樣品和大量樣品的同步處理。 MSP-8in的目標(biāo)電極沿目標(biāo)金屬表面形成多同心磁場(chǎng)，通過(guò)將電子捕獲在該磁場(chǎng)中，提高等離子體離子密度以濺射目標(biāo)金屬。 磁場(chǎng)的強(qiáng)度結(jié)構(gòu)使得粘附的金屬膜的厚度從目標(biāo)的中心到外圍是均勻的。
詳情介紹：

主要產(chǎn)品規(guī)格

項(xiàng)目 規(guī)范
權(quán)力 AC100V（單相100V）15A 3芯插頭，帶地線
設(shè)備大小 寬 450 mm，深 400 mm，高 372 mm
（設(shè)備重量：36.9 kg）
旋轉(zhuǎn)泵 寬234mm，深500mm，高264mm G-101D
（重量25kg）
涂裝室尺寸 內(nèi)徑230mm，高60mm
目標(biāo)電極尺寸 直徑 200mm
試樣載物臺(tái)尺寸 直徑 210mm
*大樣品尺寸（晶圓） 直徑 200mm
涂層不均勻 ± 10% 以下
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