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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：SHIBAURA芝浦機(jī)電油旋轉(zhuǎn)真空泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：DRP-360YII
  • 產(chǎn)品廠商：SHIBAURA芝浦機(jī)電
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
電機(jī)耦合油旋轉(zhuǎn)真空泵DRP系列
詳情介紹：

* 規(guī)格或建議零售價(jià)如有更改，恕不另行通知。

預(yù)防 措施

  • 我們的油旋轉(zhuǎn)真空泵的設(shè)計(jì)和制造基于以下用途。
    （1）吸入氣體類型：空氣和惰性氣體（N）    2， 一氧化碳2、氦、氖、氬、氙、錳......
    （2）吸入氣體溫度5~40°C
    （3）環(huán)境溫度5~40°C
    （4）常壓 泵壓約1.3×10    2Pa以下
    （5） 其他 較少重復(fù)真空和大氣。 切勿吸入水或其他液體。
    * 如果使用條件與上述不同，請(qǐng)與我們聯(lián)系。

  • 請(qǐng)注意，在以下應(yīng)用中使用時(shí)，標(biāo)準(zhǔn)真空泵的使用壽命會(huì)縮短。
    （1）腐蝕性氣體（Cl    2覆 銅板4、CF4、BBr3、HBr ...）
    [示例] 離子注入、蝕刻、CVD 等
    * 即使在特殊規(guī)格的真空泵的情況下，也不要吸入高度易燃或揮發(fā)性物質(zhì)。
    （2）大量水蒸氣、化學(xué)品、溶劑、粉末等的排放。
    （3）當(dāng)常壓為1.3kPa以上時(shí)。
    （4）當(dāng)真空和大氣的重復(fù)頻率很強(qiáng)時(shí)。
    （5）不要吸入氨氣。

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