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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:PILLAR比拉渣漿泵

  • 產(chǎn)品型號:PC-40MBT-LP25
  • 產(chǎn)品廠商:PILLAR比拉
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
用于CMP工藝/漿料
詳情介紹:

渣漿泵

特點/規(guī)格

型號/款式

PC系列

類型

用于CMP工藝/漿料

產(chǎn)品信息

該泵具有很高的耐化學性、耐熱性和清潔度,因為所有接液部件均由氟碳聚合物制成。

PC 系列專為應對 CPM 工藝和含漿料應用而設計。

主要組成材料

液體接觸部分:PFA、PTFE

主要應用

用于化學進料裝置、清洗系統(tǒng)和 CMP 裝置處理含有漿料的流體的循環(huán)管路

規(guī)格

運行過程中的液體溫度:10 至 100°C
*大排氣量:12、24、48L/min
送風壓力:0.2 至 0.5 MPaG

※使用前請閱讀操作手冊。

產(chǎn)品分類

氟樹脂產(chǎn)品/波紋管泵

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