- SUGIDEN杉山電機
- Kashiyama樫山工業(yè)
- 機器人質量比較儀
- METTLER TOLEDO...
- ASAHI-SPECTRA
- DRE東榮電子
- DAIICHI NEKKEN...
- DIC迪愛生
- 法國SES-STERLING
- 瑞士史陶比爾STAUBLI
- 德國Di-soric
- 德國OPTRIS
- SERIC索萊克
- Fujikin富士金
- SANKO三高
- 德國WAGO
- NPM日本脈沖
- 美國FLUKE福祿克
- TSI
- LINTEC林泰克
- RION理音
- BRUKER布魯克
- hamamatsu濱松光子
- KKIMAC萊馬克
- NIPPON GEAR日本齒...
- MIYACHI天田
- S-VANS斯萬斯
- YODOGAWA淀川
- YUTAKA優(yōu)塔卡
- YAMADA雅瑪達
- NS日本精密科學
- Kakuhunter寫真化學
- MITUTOYO三豐
- MIYUKI美幸輝
- NOHKEN能研
- IWAKI易威奇
- NAGANO KEIKI長野...
- THINKY日新基
- OHAUS奧豪斯
- SIBATA柴田
- TOKISANGYO東機產業(yè)
- NFK南國工業(yè)
- TOADKK東亞電波
- CCS晰寫速
- TOPCON拓普康
- METTLER梅特勒
- FUNATECH船越龍
- INFLIDGE英富麗
- AND愛安德
- ZAYTRAN
- RlKEN KElKl理研
- EABRA荏原
- DAIICHI NEKKEN...
- ISHIZAKI石崎
- SONOSABER本多
- AIRTECH安泰
- TAISEIKIKO大成機工
- CHROMA致茂
- OSAWA大澤
- FORTUNE富創(chuàng)制作所
- TOAGOSEI東亞合成
- KEYSIGHT是德
- B&K
- AIKOH愛科
- COJOT
- TAIHO大鵬
- PHOTRON活圖隆
- ETA-USA
- EIWA永和
- ELODENKI江藤
- HELLERMANN TYT...
- OPPAMA追浜工業(yè)
- TOYOKO KAGAKU東...
- FUJI富士
- EXCEL聽音機
- SOMAX
- HITACHI日立
- FYH
- DAIJI大自工業(yè)
- LOAS
- TOKYO TSUSHIN東...
- SUGAWARA菅原
- IHDC
- MEIDEN明電北斗
- FUJICON富士
- SANKYO三協(xié)
- KOSHIN東佳
- YOKOHAMARIKA橫濱
- MIRUC米瑞克
- MUTOH武藤
- TAKASAGO高砂
- JST日本時間
- OVAL
- EMIC愛美克
- SAKAI酒井
- DAIKIN大金
- FUJITSU富士通
- YOKOGAWA橫河
- KILONY
- TECLOCK得樂
- TEIKOKU帝國
- KOD小寺
- ACE GIKEN技研
- SWAGELOK世偉洛克
- SGS清水
- TOYO東洋
- OKM
- KNF 凱恩孚
- DAIO 大王
- RHESCA力世科
- SURFGAUGE
- CYGNUS賽納生物
- YUTAKA杉本
- NIKUNI尼可尼
- KRONE克朗
- IMADA 今田
- BEAT SENSE
- BROOKS 布魯克斯
- THOMAS 托馬斯
- KDN京都電機
- SAITOHK 齊藤光學
- DENGENSHA TOA電...
- TSUBAKI 椿本
- 北崎現(xiàn)貨
- ISOWATEC沃森-馬洛
- MIYAWAKI日本
- YUTAKA日本
- IZUMIDENNETU泉電...
- KOTOHIRA琴平
- GASTEC日本
- SINAGAWA品川
- TOKU東空
- LINE 萊茵
- HISHIKO菱小
- TSUBOSAKA壺板電機
- MEITOU名藤化工
- ANALYZER
- GRAPHTEC圖技
- HIOKI日置
- DAIICHIKEIKI**...
- KORI古里精機
- Mother Tool母工具
- ARK TECH方舟
- RIKEN KEIKI理研
- AKAMATSU赤松電機
- SERIC賽瑞克
- SEIWAOPT清河光學
- SAIKA佐加
- MOTOYAMA本山
- POWREX派沃斯
- TAIWA臺和
- MITSUIEC 三井電氣
- FUJIHIRA富士平工
- MINATO CONCEPT...
- MEIWAFOSIS日本
- SONOTEC超音波
- HANATSUKA花塚
- YOSHIDA吉田制作
- SOMA相馬光學
- CHO-ONPA超音波工業(yè)
- RIGO離合社
- KSK加藤
- JAI分析工業(yè)
- KIMMON金門科哈
- EDDIO哈拉電子
- KAWAKI川木柿
- NTS日本
- YAZAWA矢澤科學
- SHODENSHA松電社
- JULABO優(yōu)萊博
- SEKONIC世康尼克
- TEXIO德士
- SANWA 三和電氣
- NAKAKEI中慶
- KONAN中村
- ACT阿克特
- NAKANISHI中西
- HOZAN寶山
- MIGHTY威力
- KONSEI近藤制作所
- ANTON PAAR安東帕
- Japan sensor日本...
- KIKOH木子技研
- SHINOH新櫻電氣
- HIYOSHI日吉電機
- MALHATY丸八
- TOHSHIN東振
- ADVANCE RIKO先進...
- MAEDAKOKI前田機械
- SHINKA新科
- FKK-NET富士化學
- NISHIYAMA西山
- KENKO肯高
- ASAHI-SEIKO朝日精...
- SUGITOH杉藤
- RYUKI東京流機
- CEW中央電機
- U-TECHNOLOGY優(yōu)科...
- FUJITECOM富士東訊
- DAIKI大起理化
- SHOSHU近江
- RIGAKU日本理學
- JP-UNION優(yōu)尼恩
- CCSAWAKI澤木工房
- ADTECH日本
- TOHNIC托尼克
- OSI王子
- TOHIN東濱
- NPC西村陶業(yè)
- TEKHNE泰科尼
- ATSENSE安森
- YUMEAL玉梅爾
- KITA喜多
- UBM日本博聞
- NIHONIKA日本醫(yī)療
- IRIE入江
- KELK凱爾
- NAPSON納普森
- THERMOCERA日本K....
- NipponFreezer弗...
- HORIKOSHI堀越
- ESPEC埃斯佩克
- TOMY湯米工業(yè)
- SEM坂本
- OPTCOM奧特康
- SND勝安達
- UNION聯(lián)合電機
- NISSIN日新理化
- FUKKO伏虎
- BUCHI布奇
- DIAVAC日本大亞
- ISUZU五十鈴
- GALILEI伽俐略
- SANYO三洋
- INOX東榮
- DAIDO大同
- TGK東京硝子
- JASCO日本分光
- OHKURA大倉
- YAMATO大和
- YAYOI彌生
- ULVAC愛發(fā)科
- SCINICS賽尼克斯
- IMV愛睦威
- CEDAR思達杉崎
- OBISHI大菱
- DOYEI同榮
- BIG大昭和
- SKSATO佐藤
- LUCEO路西奧
- TDC東光
- KUBOTA久保田
- MAGNIX東洋
- RENISHAW雷尼紹
- ADS
- TOKO東光化學
- PILLAR比拉
- MUSASINO武藏野
- IMADA今田
- MANDK曼德克
- MECT梅克特
- MICROTECH微科技
- SUN-KAGAKU太陽科學
- SHIBAURA芝浦機電
- MURAYAMA村山電機
- TERADA 寺田
- MARTEC馬爾泰克
- WAKAIDA若井田
- BIONICS仿生學
- H-REPIC
- TESEC特塞克
- TOKYOKODEN東京光電
- DAIOH大旺新洋
- AE-MIC
- MORIKAWA森川
- NAKASEIKI仲精機
- PORTEC普羅特
- SINKO-DENKI信光電...
- MAGNA麥格納
- TOYOX東洋克斯
- NLC仲氏液控
- SHINSEI新生精機
- MINORU
- AKIYAMA秋山機械
- otake大竹
- OSHOMANOKI
- KAWATA川田
- OURSTEX
- MARU丸七
- TECMAN泰曼
- YAMAMOTO
- FUJIWARA藤原
- SUN SCIENTIFIC...
- SHIMADEN島電
- NARISHIGE成茂
- IHARA伊原
- YAMATAKE山武
- MICROSTONE微石
- KIMO凱茂
- Magnescale
- NEWERA新時代
- KONICA MINOLTA...
- HOKUYO北陽電機
- KANETEC強力
- FUJIWARA藤原制作所
- SHINKUU真空設備
- TANDD
- Gardasoft
- IDEC和泉
- ISHIKAWA石川
- SMT
- MACOME碼控美
- HEIDON新東科學
- NAKA仲精機
- IEDA家田
- DELTAOHM
- Thermoport
- Greisinger格雷辛格
- SHIZUOKA日本靜岡
- SR三木
- OKAZAKI岡崎
- SK-SATO佐藤
- OKANO岡野制作所
- ANRITSU-METER安...
- AGELA博納艾杰爾
- PHENOMENEX飛諾美
- PHILIPS飛利浦
- PARKER派克
- IMADA依夢達
- Chnspec彩譜
- Asahi-spectra朝...
- MINEBEA美蓓亞
- IMAO今尾
- NABEYA日本鍋屋
- B&PLUS巴魯夫
- NIPPON GEAR齒輪工...
- CAPITAL-PUMPS資...
- NINOMIYA二宮電纜
- YAMAMOTO-MS 山本...
- SURUGASEIKI駿河精...
- ASKAR高分子計器
- ASK
- RKC理化工業(yè)
- KROMASIL諾力昂
- EYELA東京理化
- MUSASHI武藏
- DIT東日技研
- EYE巖崎
- 銥晶科技
- OMRON歐姆龍
- Kromasil克羅馬西爾
- NIDEC尼得科
- BEL意大利倍爾
- SONIC索尼克
- ASONE亞速旺
- SANKO山高
- ATTO日本安藤
- SOLAX/SERIC索萊克
- SHARP夏普
- TSUBOSAKA壺坂
- KEM京都電子
- SANXIN日本三信
- REVOX萊寶克斯
- KOKEN日本興研
- SUGIYAMA杉山電機
- IMT艾磨特
- KYOWA共和
- FUJIIMPULSE富士音...
- KIKUSUI菊水
- SHIMADZU島津
- METROHM瑞士萬通
- OTSUKA大塚
- PECULIAR普拉勒
- YAMATO雅馬拓
- VACUUBRAND普蘭德
- GW固緯
- RIKEN理研
- CUSTOM東洋計量
- KYORITSU共立
- IKA艾卡
- HORIBA日本堀場
- YIHENG一恒
- SHOWA GIKEN昭和技...
- KYOWA協(xié)和工業(yè)
- SSD西西蒂
- G-MEN日本
- INTECS
- SATOVAC 佐藤真空
- DITECH迪泰克
- HAKKO日本白光
- AMADA天田
- SENSEZ森茲
- MORITEX茉麗特
- VIBRA新光電子
- TOSHIBA東芝
- HENIX梅田
- JISC積世克
- MANOSTAR 山本電機
- NIPPONMUKI無機
- YAMADA山田
- TEAC泰克
- MIDORI
- EIWA榮和
- KOSAKA 小坂
- EMP榎本
- TAIYO太陽鐵工
- ACCRETECH東精精密
- PISCO匹士克
- PANASONIC松下
- KURODA黑田精工
- TAKIKAWA瀧川
- TSURUGA鶴賀
- TOKYOKEISO東京計裝
- SEN日森
- KASUGA春日電機
- COSMOS新宇宙
- SR三木工廠
- TKD武田
- NIPPON-MR繩索
- MARUYAMA丸山
- KASHIYAMA柏山工業(yè)
- SHOWA昭和
- ONOSOKKI小野
- TSUBAKI椿本
- THK軸承
- TORAY東麗
- NITTO日東
- FUJI-US富士
- MEISEI日本明星
- KOMYOKK光明理化
- HOYA豪雅
- SAGINOMIYA日本鷺宮
- NS日本精密
- TAISEI大生
- KETT凱特
- KAIJO凱捷
- KRK笠原理化
- LIGHTEST
- AITEC艾泰克
- KITZ北澤
- ONOSOKKI小野傳感器
- SAKAGUCHI坂口電熱加...
- KOYO光陽
- LUBE泵閥
- KURABO久保田脫泡機
- MCRL村上分光測色儀
- NIPPONMUKI無機過濾...
- ORC歐阿希照度計
- USHIO牛尾UV燈
- SAKURAI櫻井打印紙
- KEYENCE基恩士
- LUCEO魯機歐應力儀
- SANEI三榮電機
- NPM日脈電機馬達
- NBK鍋屋工裝夾具
- AKRIBIS雅克貝斯精密平...
- COSMO科斯莫檢漏儀
- SAMJUNG禪才離子風棒
- SUMITA住田光纖
- HAYASHI林時計光纖光源
- METROL美德龍
- VALQUA華爾卡配管部品
- CHINO千野溫濕度計
- HIKARIYA光屋檢查燈
- HEIDON新東攪拌機
- SOLAX/SERIC索納克...
- SANKO山高膜厚計
- ITOH伊藤粉碎機
- NEWKON新光針孔機
- ONOSOKKI小野編碼器
- ELMEX安科生物涂抹棒
- AxoScan美國
- MITSUI ELECTRI...
- FUJICOM富士
- HAYASHI林時計
- Navitar納維塔爾鏡頭
- KANETEC強力脫磁裝置
- NPM日本脈沖電機
- YUASA尤阿薩折彎機
- UNILAM優(yōu)尼光紫外燈
- POLARION普拉瑞探照燈
- AND艾安得
- JIKCO吉高濃度計
- IIJIMA飯島酸素計
- SPAIR日信工具
- Axometrics美國
- ASAHI旭精工
- DSK電通熒光燈
- DNL**燈
- ORIHARA折原應力儀
- NIKKATO日陶研磨球
- NDK日本電色霧度計
- DRY-CABI德瑞卡比防潮...
產品詳情
簡單介紹：
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
詳情介紹：
MS系列是螺桿型干式真空泵。在傳統(tǒng)的LS系列的基礎上，提高了耐腐蝕性和粉末排出性能。該型號專為使用腐蝕性氣體和有粉末排出的工藝設計。
特點
- 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊涂層處理，以防腐蝕。
- 采用ULVAC獨特設計的轉子軸，實現(xiàn)高性能的排粉。
- 從大氣壓到極限壓力，可以在全壓力區(qū)域連續(xù)運行。
用途
- 半導體和電子器件制造設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如刻蝕設備、去膠設備、等離子清洗設備等。
- 真空熱處理爐真空排氣系統(tǒng)，如燒結爐、滲碳爐等。
- 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)，如電極干燥設備、脫泡設備、注液設備等。
- 醫(yī)療食品設備相關的真空排氣系統(tǒng)，如冷凍干燥設備、真空干燥設備等。
規(guī)格
| 型式 | MS120A | MS600A | MS1200A | |
| *大排氣速度 *1 | m3/h | 115 | 560 | 980 |
| 到達壓力 | Pa | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 200V Class：3Phase, 50/60Hz, AC200-240V±10% or 400V Class：3Phase, 50/60Hz, AC380-480V±10% | |||
| 消費電力概略值 *2 | kW | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | L/min | >4.0 | ||
| Purge gas量 *1 | SLM | 0~50 | ||
| *大水蒸氣處理量 *1*3 | kg/h | 1.5 | ||
| 噪音值 *1 | dB(A) | 61 | 62 | 64 |
| 吸氣口 | KF50(Horizontal) / VG50(Vertical) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | KF40 | |||
| 質量 *4 | kg | 139 | 241 | 264 |
| 適用規(guī)格 | CE、cTUVus | |||
| 標準附屬品 | Quick manual, Power connector, Waterproof cable clamp, Remote connector, Guard for power connector, Silencer | |||
| 本體選配件 |
Power supply：200V Class or 400V Class Material of seal：FKM or FFKM |
|||
| 外部選配件 | Packege Exhaust port, Earthquake-proof Bracket, LR compatible Unit(Inlet, Remote), Purge gas valve | |||
*1：到達壓力時
*2：At ultimate pressure (reference only)
*3：Purge gas使用時的*大水蒸氣處理量
*4：Including a silencer
排氣速度曲線
|
|
|
|
尺寸圖
產品留言
