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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科多級(jí)羅茨型干泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：GR90A
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績(jī)和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的泵。
詳情介紹：
干泵GR系列是以獲得良好業(yè)績(jī)和信賴的LR/HR系列為基礎(chǔ)設(shè)計(jì)的，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的簡(jiǎn)單結(jié)構(gòu)的泵。

特點(diǎn)

  • 可應(yīng)用于大氣真空間反復(fù)抽氣的高負(fù)荷領(lǐng)域，可在高負(fù)荷下持續(xù)使用。
  • 適用load lock室（裝載/卸載室），可實(shí)現(xiàn)高吞吐量。
  • 感應(yīng)電機(jī)可通用
  • 可以安裝防爆電機(jī)等特殊電機(jī)（可選）
  • 采用多電壓兼容電機(jī)

用途

  • 空氣、惰性氣體等潔凈氣體的真空排氣
  • 各種成膜設(shè)備放入取出室的真空排氣
  • 真空干燥，真空氣體置換和真空脫泡等一般產(chǎn)業(yè)
  • 真空氣體置換，如真空熱隔絕和氣體填充

規(guī)格

型號(hào) GR60A GR90A GR180A
*大排氣速度 50Hz m3/h(L/min) 62(1030) 112(1030) 183(3100)
60Hz m3/h(L/min) 80(1333) 126(2100) 237(3850)
極限壓力 *1 Pa 5.0
*大排氣壓力（吸入圧力） 大氣壓
*大排氣口壓力（排出圧力） Pa 1.0 ~ 大氣壓
吸氣口 VG50 VG80
排氣口 NW40
DRP表面處理 〇
電機(jī) 輸出 [kW] 2.2 3.7 7.5
電壓 [V] 50Hz 200~240/380~415
60Hz 200~240/380~460
質(zhì)量 kg 128 188 268
冷卻方式 冷卻水
一次供給壓力 		MPa 0.1~0.3
冷卻水
出入口壓差 		MPa >0.1
冷卻水溫度 ℃ 10~30 *2
冷卻水流量 L/min >5.0
氮?dú)? 一次側(cè)
供給圧力 		MPa 0.1~0.5
二次側(cè)
調(diào)整圧力 *3 		MPa 0.05 to 0.1 (運(yùn)作時(shí))
軸 SLM 5.0 *4

*1 極限壓力是氮?dú)猓ㄝS封氣體）為5.0 SLM時(shí)的值。
*2 不結(jié)露。
*3 通過調(diào)節(jié)器調(diào)節(jié)壓力計(jì)值。
*4 氮?dú)猓ㄝS封氣體）的流量固定為5.0SLM。

配件

型號(hào) 材質(zhì) 表面處理 重量(kg) 法蘭接口 GR60A GR90A GR180A
消音器 RS-01+
套件A 		SUS304 GBB處理 4.1 KF40 〇 〇 -
RS-01+
套件C 		SUS304 GBB處理 8.3 KF40 - - 〇

排氣速度曲線

GR_curve.png

尺寸圖

  • GR60GR-60_en_size.png
  • GR90AGR-90A_en_size.png
  • GR180GR-180_en_size.png
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