Note)此目錄使用 SI單位系統(tǒng)。 使用非 SI單位制的轉(zhuǎn)換如下。
4.0 x 10^-1 Pa = 3.0 × 10^-3 Torr
*1　標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品沒有表面處理（陽極氧化涂層)。您也可以選擇表面處理作為選項(xiàng)。
*2　用皮拉尼真空計測定。 測量條件 : 標(biāo)準(zhǔn)后備泵和標(biāo)準(zhǔn)真空油。
( 使用 McLeod 真空計測量時約為 4.0×10^-2 Pa。)
*3　只有 PMB100D 可以選擇 200V級或多電壓的電動機(jī)。 不能使用防爆電動機(jī)的多電壓選擇。
*4　空冷式的使用油是R-72。還可選礦物油R-72、氟油J25F。
*5　通過選擇變頻器安裝型號，將能夠在整個壓力范圍內(nèi)運(yùn)行。
訂購變頻器規(guī)格時，請指定空冷或水冷規(guī)格。水冷逆變器無法進(jìn)行空冷運(yùn)行。
對于PMB600D，1200D和2400D，在300 Pa至4,000 Pa的壓力范圍內(nèi)連續(xù)運(yùn)行超過1小時可能會損壞泵。
在這種情況下，請選擇水冷規(guī)格。
*6　在無結(jié)露的環(huán)境中使用。
*7　有關(guān)其他尺寸，請?jiān)L問ULVAC網(wǎng)站并參考發(fā)布的CAD數(shù)據(jù)。

排氣速度曲線

尺寸圖