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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱(chēng)：ULVAC愛(ài)發(fā)科羅茨泵
產(chǎn)品型號(hào)：PRC-006A
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛(ài)發(fā)科
產(chǎn)品文檔：

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簡(jiǎn)單介紹：

PRC系列是為對(duì)清潔度有特別要求的半導(dǎo)體、液晶制造工藝特別設(shè)計(jì)的羅茨泵。采用屏蔽式電機(jī)，不會(huì)從軸封部漏油?？蛇x擇大氣壓驅(qū)動(dòng)型。

詳情介紹：

PRC系列是為對(duì)清潔度有特別要求的半導(dǎo)體、液晶制造工藝特別設(shè)計(jì)的羅茨泵。采用屏蔽式電機(jī)，不會(huì)從軸封部漏油。可選擇大氣壓驅(qū)動(dòng)型。

特點(diǎn)

無(wú)油
由于沒(méi)有潤(rùn)滑油，因此對(duì)于水蒸氣和溶劑等的蒸汽，也可以具有穩(wěn)定性。
采用密封電機(jī)
通過(guò)采用密封電機(jī)，可以不需要大氣/真空機(jī)械密封。可以在沒(méi)有漏油的清潔環(huán)境中使用。
表面處理，具有優(yōu)異的耐腐蝕性
主要部件采用陽(yáng)極氧化鋁處理，具有高表面硬度和優(yōu)異的耐腐蝕性，并可防止泵內(nèi)部的劃傷和腐蝕。還提供可選的表面處理。
大氣壓驅(qū)動(dòng)型（選件：變頻器）有效減少排氣時(shí)間
可以與粗抽泵同時(shí)啟動(dòng)，與標(biāo)準(zhǔn)型相比，可以減少排氣時(shí)間。

用途

蒸著、濺射、離子電鍍
真空干燥、冷凍干燥、真空脫氣
分析設(shè)備、檢漏設(shè)備
氣體置換、充填、真空隔斷
熱處理爐、溶解爐
其他各種真空設(shè)備

規(guī)格

型號(hào) *1			PRC-003A	PRC-006A	PRC-012A	PRC-018A
*大排氣速度		50Hz	280 m³/h （4670 L/min）	500 m³/h （8330 L/min）	1000 m³/h （16700 L/min）	1500 m³/h （25000 L/min）
		60Hz	330 m³/h （5500 L/min）	600 m³/h （10000 L/min）	1200 m³/h （20000 L/min）	1800 m³/h （30000 L/min）
*大吸氣壓力		50Hz	1.2 x 10³Pa	1.3 x 10³Pa		1.2 x 10³Pa
		60Hz	9.3 x 10²Pa	1.1 x 10³Pa		9.3 x 10²Pa
*大允許壓差		50Hz	4.0 x 10³Pa	7.3 x 10³Pa		4.3 x 10³Pa
		60Hz	3.3 x 10³Pa	6.0 x 10³Pa		3.2 x 10³Pa
到達(dá)壓力 *2			4.0 x 10^-1Pa		6.7 x 10^-1Pa
容許驅(qū)動(dòng)壓力			～1.0 x 10⁵Pa（大氣壓開(kāi)始型）
電機(jī) *3	電機(jī)類(lèi)型		密封三相感應(yīng)電動(dòng)機(jī)
	高效率等級(jí)		ー
	出力		0.75 kW( 2極數(shù) )	2.2 kW( 2極數(shù) )	3.7 kW ( 2極數(shù) )	5.5 kW( 2極數(shù) )
	電壓 (200V系統(tǒng))	50Hz	200 V
		60Hz	200/220 V
液壓油 *4			ULVOIL R-42
油量			0.7 L	1.5 L	1.9 L
冷卻方式			水冷
冷卻水	一次側(cè)壓力		0.3 Mpa
	吸氣/排氣口壓差量		0.01 Mpa以上
	冷卻水量		2 L/min		3 L/min
	冷卻水溫 *5		5 ～ 30 ℃
吸氣口 JIS-B-2290			VF80 相當(dāng) / ISO80F 或 ISO100F (可選)		VG100 相當(dāng) / ISO100F (可選)	VG150 相當(dāng) / ISO160F (可選)
排氣口 JIS-B-2290			VF80 相當(dāng) / ISO80F 或 ISO100F (可選)			VF100 相當(dāng) / ISO100F (可選)
外直徑(尺寸) W×D×H *6			296×575×260 mm	356×619×320 mm	406×759×340 mm	406×989×340 mm
重量			51 kg	86 kg	118 kg	150 kg
標(biāo)準(zhǔn)粗抽泵			VD601	VD901	VS2401	VS2401
符合規(guī)格			-
標(biāo)準(zhǔn)附屬品			泵所需油量，使用說(shuō)明書(shū)
選配件			未經(jīng)表面處理的泵，緊定法蘭，大氣壓?jiǎn)?dòng)類(lèi)型（逆變器), 合成油或氟油類(lèi)型，潤(rùn)滑腔排空口，不同電壓電機(jī)

note)此目錄使用 SI單位系統(tǒng)。使用非 SI單位制的轉(zhuǎn)換如下。
4.0 x 10^-1 Pa = 3.0 × 10^-3 Torr
*1　標(biāo)準(zhǔn)模型帶有表面處理 (陽(yáng)極氧化涂層)。可選地，無(wú)需表面處理模型就可以選擇。
*2　用皮拉尼真空計(jì)測(cè)定。 (測(cè)量條件 : 標(biāo)準(zhǔn)后備泵和標(biāo)準(zhǔn)真空油。)
*3　不能選配**增強(qiáng)型防爆型和耐壓防爆型法蘭電機(jī)。
*4　油選項(xiàng)：可選擇氟油（J25F）類(lèi)型，請(qǐng)與我們聯(lián)系。
*5　在無(wú)結(jié)露的環(huán)境中使用。
*6　有關(guān)其他尺寸，請(qǐng)?jiān)L問(wèn)ULVAC網(wǎng)站并參考發(fā)布的CAD數(shù)據(jù)。