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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科油擴(kuò)散泵

  • 產(chǎn)品型號：BW-14
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
抑制從油擴(kuò)散泵向吸氣側(cè)的油蒸氣的逆流。
詳情介紹：
抑制從油擴(kuò)散泵向吸氣側(cè)的油蒸氣的逆流。

特點(diǎn)

  • 保護(hù)真空容器內(nèi)部免受油擴(kuò)散泵的油霧污染。
  • *大限度地減少排氣阻力。
  • 通過設(shè)適配器，BW-04B和BW-06B可以進(jìn)一步抑制油蒸汽的逆流。

規(guī)格

型號 BW-02 BW-04B BW-06B BW-10 BW-14 BW-20 BW-22 BW-36 BW-52
電導(dǎo)率[L/sec] 100 940 2200 3130 5000 13000 14000 54000 75000
外部尺寸[mm] D Φ120 Φ149 Φ199 Φ350 Φ450 Φ625 Φ680 Φ1065 Φ1480
T 16 28 28 44 50 152 101 113 165
t 16 25 25 22 22 24 26 28 35
冷卻水取合（尺寸） Rc 1/8 Rc 1/4 Rc 1/4 Rc 1/4 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 3/8 Rc 1/2
冷卻水量[L/min] 1.5 0.7 1 2 2 3 3 5 5
重量[kg] 1 1.3 1.7 7.6 11 22 28 66 200
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