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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科排氣單元

  • 產(chǎn)品型號:VPT-060
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
在架臺上緊密集成了渦輪分子泵、干泵、閥門配管、電氣系統(tǒng)等必要設備,是干燥型小型的高真空排氣裝置。 *適合于半導體、分析、檢查、理化、制藥等各領域的潔凈真空環(huán)境。
詳情介紹:
在架臺上緊密集成了渦輪分子泵、干泵、閥門配管、電氣系統(tǒng)等必要設備,是干燥型小型的高真空排氣裝置。
*適合于半導體、分析、檢查、理化、制藥等各領域的潔凈真空環(huán)境。

特點

  • 完全干燥的排氣裝置。
  • 安裝空間緊湊。

規(guī)格

50Hz 60Hz
極限壓力 10-5 Pa
重量 17 kg
吸氣口 ISO63(選購配件:KF-40)
環(huán)境溫度 8~38 ℃
*大尺寸 340 mm(W) × 340 mm(L) × 355 mm(H)
RoHS指令
*電離真空計?皮拉尼真空計?配管部品可選。
*根據(jù)使用條件,性能可能會降低。

尺寸圖

zu_vpt060.gif
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