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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科低溫泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U4H
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

  • *大發(fā)揮了4-inch低溫泵的排氣特性。
  • 高排氣速度有助于提高排氣效率和生產(chǎn)率。
  • 特別適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備和小型設(shè)備的濺射工藝。
  • 1臺(tái)壓縮機(jī)*多可以運(yùn)行四臺(tái)泵。
  • 可以根據(jù)您的應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計(jì)和制造。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 450
氫 500
氬 370
水 1,100
極限壓力 Pa 10-7
*大流量 氬 Pa?L/s 1.3×103
排氣容量 氬 Pa?L 1.0×107
氫 1.5×105
冷卻下降時(shí)間 min(50/60Hz) 45/50
重量 Kg 14.5

外形尺寸 (單位:mm)

u4h.gif
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