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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科低溫泵

  • 產(chǎn)品型號：CRYO-U6H
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

  • 輕量?緊湊、標(biāo)準(zhǔn)尺寸*小的泵
  • 適用于實(shí)驗(yàn)室和研究室的小型真空設(shè)備。
  • 可以多臺運(yùn)行（*多3臺）
  • 可以達(dá)到超高真空（10-8Pa以下）

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 750
氫 1,100
氬 620
水 2,100
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.1×103(7.9)
氫 1.1×102(0.8)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 5.6×107(4.2×105)
氫 3.1×105(2.3×103)
冷卻下降時間(動力循環(huán)) min(Hz) 80/70(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-150,UFC-203
壓縮機(jī)組 C10T,C10AT
重量 Kg 19

*維護(hù)周期：16,000小時

外形尺寸 (單位:mm)

u6h.gif
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