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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科低溫泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U8H-U
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

  • 與CTI低溫泵CT-8完全可互換。
  • 氫氣排放特性優(yōu)于CT-8
  • 可以多臺(tái)運(yùn)作（*多3臺(tái)）。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 1,700
氫 2,700
氬 1,400
水 4,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.2×103(8.9)
氫 2.4×102(1.8)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 1.0×108(7.6×105)
氫 1.0×106(7.6×103)
冷卻下降時(shí)間(動(dòng)力循環(huán)) min(Hz) 100/90(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-200,6BANSI,UFC-253
壓縮機(jī)組 C10T,C10AT
重量 Kg 20.8

*維護(hù)周期：16,000小時(shí)

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