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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科低溫泵
產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U10HSP
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
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簡(jiǎn)單介紹：

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

詳情介紹：

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。
根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

*適合濺射應(yīng)用。
氬氣容量是現(xiàn)有型號(hào)（U10H）的2倍。
再生時(shí)間間隔延長(zhǎng)意味著更高的可用性。
可以進(jìn)行多個(gè)連接（*多3個(gè)）。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃)	氮	L/s	2,400
	氫		3,600
	氬		2,000
	水		6,900
極限壓力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
*大流量	氬	Pa?L/s(Torr?L/s)	1.30×10³(9.8)
	氫		2.1×10²(1.6)
排氣容量	氬	Pa?L(Torr?L)	2.0×10⁸(1.5×10⁶)
	氫		1.2×10⁶(9.0×10³)
冷卻下降時(shí)間 (動(dòng)力循環(huán))	min(Hz)		120/110(50/60)
吸氣口法蘭			UVG-250,10^BANSI
壓縮機(jī)組			C15R
重量		Kg	36.0

*維護(hù)周期：16,000小時(shí)
*移動(dòng)托盤可選

外觀尺寸 (單位:mm)

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