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產(chǎn)品詳情

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產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科低溫泵
產(chǎn)品型號：CRYO-U12HSP
產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
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簡單介紹：

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

詳情介紹：

CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機的能夠制造出高真空的低溫泵系列。根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點

氬氣的排氣速度約為標(biāo)準(zhǔn)型號（U12H）的2倍。
氫氣的排氣速度約為標(biāo)準(zhǔn)型號（U12H）的1.5倍。
再生的間隔時間更長，有助于增加設(shè)備的工作時間。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃)	氮	L/s	4,100
	氫		6,000
	氬		3,400
	水		9,500
極限壓力	Pa(Torr)		10^-7(10^-9)
*大流量	氬	Pa?L/s(Torr?L/s)	2.0×10³(15.0)
	氫		4.1×10²(3.1)
排氣容量	氬	Pa?L(Torr?L)	4.4×10⁸(3.3×10⁶)
	氫		1.6×10⁶(1.2×10⁴)
冷卻下降時間(動力循環(huán))	min(Hz)		90/80(50/60)
吸氣口法蘭			UVG-300,10^BANSI
壓縮機組			C30VRT
重量		Kg	42

*維護周期：16,000小時

外形尺寸 (單位:mm)

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