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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科低溫泵

  • 產(chǎn)品型號(hào)：CRYO-U20P
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡(jiǎn)單介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
詳情介紹：
CRYO-U系列，是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同，從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

  • 特別適用于大型成膜生產(chǎn)設(shè)備。
  • 特別適用于批量型大型成膜設(shè)備。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃) 氮 L/s 10,000
氫 18,000
氬 8,400
水 29,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7(10-9)
*大流量 氬 Pa?L/s(Torr?L/s) 1.1×103(8.7)
氫 5.0×102(3.7)
排氣容量 氬 Pa?L(Torr?L) 5.8×108(4.4×106)
氫 4.6×106(3.4×104)
冷卻下降時(shí)間(動(dòng)力循環(huán)) min(Hz) 180/160(50/60)
吸氣口法蘭 UVG-500
壓縮機(jī)組 C30VRT
重量 Kg 69.0

*維護(hù)周期：16,000小時(shí)

外形尺寸 (單位:mm)

u20p_e.gif
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