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產(chǎn)品詳情
  • 產(chǎn)品名稱:ULVAC愛發(fā)科低溫泵

  • 產(chǎn)品型號:CRYO-U22H
  • 產(chǎn)品廠商:ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔:
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簡單介紹:
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。
詳情介紹:
CRYO-U系列,是使用了2段式GM冷凍機(jī)的能夠制造出高真空的低溫泵系列。 根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

特點(diǎn)

  • 特別適用于大型成膜設(shè)備。
  • 水的排氣速度*高。

標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格

排氣速度(20℃) L/s 17,000
25,000
14,000
39,000
極限壓力 Pa(Torr) 10-7 (10-9)
*大流量 Pa?L/s(Torr?L/s) 4.1×10(31)
1.3×10(9.6)
排氣容量 Pa?L(Torr?L) 8.1×10(6.1×106)
8.5×10(6.4×104)
冷卻下降時(shí)間(動(dòng)力循環(huán)) min(Hz) 150/135 (50/60)
吸氣口法蘭 VG-550
壓縮機(jī)組 C30VRT×2
重量 Kg 125.0

*保養(yǎng)周期:16,000小時(shí)
U22H,U30H fall under category of export contol products
Corresponds to export control product suach as strategic time
Please take nessecary procedure for Export permisson from Japan goverment

外形尺寸 (單位:mm)

u22h.gif

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