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產(chǎn)品詳情

  • 產(chǎn)品名稱：ULVAC愛發(fā)科冷陰極電離真空計

  • 產(chǎn)品型號：SC1
  • 產(chǎn)品廠商：ULVAC愛發(fā)科
  • 產(chǎn)品文檔：
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簡單介紹：
G-TRAN系列是為了使各種設(shè)備的工藝控制集中化以及小型化而開發(fā)的真空計，（1）降低設(shè)備成本，（2）節(jié)省空間，（3）節(jié)省布線。 由傳感器單元和顯示單元的基本單元構(gòu)成，可根據(jù)用途組合。
詳情介紹：
G-TRAN系列是為了使各種設(shè)備的工藝控制集中化以及小型化而開發(fā)的真空計，（1）降低設(shè)備成本，（2）節(jié)省空間，（3）節(jié)省布線。
由傳感器單元和顯示單元的基本單元構(gòu)成，可根據(jù)用途組合。

特點

  • 測量部件和測量電路一體化集成
  • 模擬輸出和設(shè)定點輸出
  • 獨立的模擬日志輸出和設(shè)定點輸出（顯示單元）
  • 采用DIN標(biāo)準(zhǔn)尺寸48 x 96 mm（顯示單元）

用途

  • 用于半導(dǎo)體，光學(xué)和電子零件制造的精密真空設(shè)備的壓力范圍內(nèi)的過程控制
  • 低真空范圍的過程控制，適用于熔解爐等工業(yè)設(shè)備
  • 具有多個工藝腔體的真空系統(tǒng)的壓力范圍內(nèi)的過程控制，例如in-line式濺射設(shè)備和晶圓制造設(shè)備

規(guī)格

傳感器
單元 		顯示單元 特征
數(shù)字 數(shù)字4CH
皮拉尼真空計 SW1 SP1 ISG1 IM1R1
IM2R1 		?10-2～10+5Pa
?價格低
熱的
陰極
真空計 		SH2 ?5x10-8～9.9x100Pa
?測量范圍廣
?多離子真空計適用
冷
陰極
真空計 		SC1 ?5x10-5～1Pa
?低運行成本
電容
壓力計 		CCMT-D DC15V
DC24V 		?陶瓷隔膜規(guī)格
?可以高精度測量低，中真空
特征 ?測定子一體型
?類似物輸出
?設(shè)定點輸出 		?DC24V適用
?設(shè)定點3點
?查看方便LED 		?4CH同時表示
?設(shè)定點8點
?節(jié)省空間
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